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微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

品牌：iplas
型號： CYRANNUS
產(chǎn)地：歐洲德國
供應(yīng)商報價：€65000

QUANTUM量子科學(xué)儀器貿(mào)易（北京）有限公司更新時間：2025-04-21 10:15:39

銷售范圍售全國

入駐年限第10年

營業(yè)執(zhí)照已審核

同類產(chǎn)品樣品制備(54件)

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詳細(xì)介紹

微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)-MPCVD

寶石級大尺寸單晶金剛石制備系統(tǒng)

微波等離子化學(xué)氣相沉積技術(shù)（MPCVD), 通過等離子增加前驅(qū)體的反應(yīng)速率，降低反應(yīng)溫度。適合制備面積大、均勻性好、純度高、結(jié)晶形態(tài)好的高質(zhì)量硬質(zhì)薄膜和晶體。

MPCVD是制備大尺寸單晶金剛石有效手段之一。德國iplas公司ZL的 CYRANNUS 等離子技術(shù)解決了傳統(tǒng)等離子技術(shù)的局限，可以在10mbar到室壓范圍內(nèi)激發(fā)高穩(wěn)定度的等離子團(tuán)，大限度的減少了因氣流、氣壓、氣體成分、電壓等因素波動引起的等離子體狀態(tài)的變化，從而確保單晶生長的持續(xù)性，為合成大尺寸單晶金剛石提供有力保證。

iplas CYRANNUS系列產(chǎn)品特點(diǎn)：

1. CYRANNUS技術(shù)無需在樣品腔內(nèi)安裝內(nèi)部電極，在沉積腔內(nèi)，沒有工作氣體以外的任何物質(zhì)，潔凈，無污染源。等離子發(fā)生器可以保持長壽命，并可以確保腔內(nèi)的等離子體的均勻分布，進(jìn)一步生成晶體的純凈度和生長周期。

2. CYRANNUS技術(shù)的腔外多電極設(shè)置，確保等離子團(tuán)穩(wěn)定生成于腔內(nèi)中心位置，對腔壁、窗口等無侵蝕作用，減少雜質(zhì)來源，提高晶體純度。由CYRANNUS系統(tǒng)合成的金剛石，純度均在VVS級別以上。

3. 電子溫度和離子溫度對中性氣體溫度之比非常高，運(yùn)載氣體保持合適的溫度，因此可使基底的溫度不會過高。

4. 微波發(fā)生器穩(wěn)定易控，能在從10mbar到室壓的高壓強(qiáng)環(huán)境下維持等離子體，在氣流、氣壓、氣體成分、電壓出現(xiàn)波動時，確保等離子體狀態(tài)的穩(wěn)定，保證單晶生長的過程不被上述干擾而中斷，有利于獲得大尺寸單晶金剛石。

5. 可以采用磁約束的方法，約束在等離子團(tuán)在約定的空間內(nèi)，微波結(jié)和磁路可以兼容。

6. 安全因素高。高壓源和等離子體發(fā)生器互相隔離，微波泄漏小，容易達(dá)到輻射安全標(biāo)準(zhǔn)。

7. 可搭配多種功率微波源和不同尺寸腔體，滿足從實(shí)驗(yàn)室小型設(shè)備到工業(yè)大型裝置的不同需要。大可以對300mm直徑的襯底沉積金剛石薄膜。