熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡

JSM-7001F熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡（Thermal Field Emission SEM），是能夠滿足與高分辨率和易用性同樣的分析應(yīng)用需求的理想平臺。JSM-7001F具有大型、5軸、全對中馬達(dá)驅(qū)動(dòng)自動(dòng)化樣品臺,還有單動(dòng)作樣品更換氣鎖、它的小束口壓直徑，即使在大電流和低電壓時(shí)，也具有適用于EDS、WDS、EBSP和CL的理想結(jié)構(gòu)的擴(kuò)充性。樣品室可處理直徑最大為 200mm的樣品。
計(jì)算機(jī)接口是新的Windows XP系統(tǒng)，操作簡單，具有快速簡單地切換操作模式的功能鍵。最多可同時(shí)查看包括混合信號的四幅實(shí)時(shí)圖像，單次掃描就可以記錄并馬上存儲全部的四幅圖像。
JSM-7001F掃描電子顯微鏡還支持與EDS、WDS、電子束光刻系統(tǒng)和圖像數(shù)據(jù)庫的整體化。標(biāo)準(zhǔn)的樣品臺自動(dòng)化由計(jì)算機(jī)控制5軸：X、Y、Z、傾斜和對中自轉(zhuǎn)。

技術(shù)參數(shù)：
分辨率: 3 nm（1 kV），1.2 nm（30 kV）
放大倍數(shù): 10 到 1,000,000x
加速電壓: 0.5kv 到 30 kV
束流: 1 pA 到 200 nA
大束流分辨率：3.0nm(5nA、15kv、WD10mm)
檢測器：二次電子檢測器
光闌角控制鏡: 內(nèi)置
柔和光束: 內(nèi)置
數(shù)字圖像: 1,280 x 960，2,560 x 1，920, 5,120 x 3,840
樣品交換室: 單步加載/卸載
樣品臺: 全對中，5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)
X-Y: 70 mm x 50 mm、z：3-41mm
傾斜: -5 到 +70°
旋轉(zhuǎn): 360°
工作距離: 1.5 mm 到 25 mm
真空系統(tǒng): 2 SIPs，2DP、RP