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成都真空設(shè)備廠家 surpass大口徑等離子刻蝕機 半導(dǎo)體刻蝕 離子束刻蝕 反應(yīng)離子刻蝕 可定制
- 品牌:超邁光電
- 型號: CM-015
- 產(chǎn)地:四川 成都
- 供應(yīng)商報價:¥1000000
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成都漢普升科技有限公司
更新時間:2025-04-28 15:06:17
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銷售范圍售全國
入駐年限第3年
營業(yè)執(zhí)照已審核
- 同類產(chǎn)品 干法刻蝕系統(tǒng)(2件)
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詳細介紹
●本設(shè)備主要用于半導(dǎo)體刻蝕,能夠兼容離子束刻蝕和反應(yīng)離子刻蝕功能,使用氣態(tài)化學(xué)刻蝕劑與材料產(chǎn)生反應(yīng)來進行刻蝕,并形成可從襯底上移除的揮發(fā)性副產(chǎn)品,通過真空系統(tǒng)排出,特別適合刻蝕熔融石英、硅、光刻膠、聚酷亞胺( PI) 薄膜、金屬等材料。
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