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    產(chǎn)品中心

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    基恩士 形狀測(cè)量激光顯微系統(tǒng) VK-X3000 系列

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    產(chǎn)品特點(diǎn)

    一臺(tái)即可測(cè)量納米/ 微米/ 毫米
    一臺(tái)即可了解希望獲取的信息
    Z高分辨率0.01 nm

    詳細(xì)介紹


    產(chǎn)品介紹:

    搭載白光干涉功能
    納米/微米/毫米一臺(tái)即可完成測(cè)量

    超越激光顯微鏡的限制,以三重掃描方式應(yīng)對(duì)

    • 一臺(tái)即可測(cè)量納米/ 微米/ 毫米

    • 一臺(tái)即可了解希望獲取的信息

    • 最 高分辨率0.01 nm


    采用了三重掃描方式,運(yùn)用激光共聚焦、白光干涉、聚焦變化等三種不同的掃描原理,高倍率和低倍率,平面、凹凸表面的細(xì)微粗糙度,以及鏡面體,透明體等。VK擁有應(yīng)對(duì)多種樣品的測(cè)量能力(從 1 nm 到 50 mm),納米/微米/毫米一臺(tái)完成測(cè)量。


    產(chǎn)品特性

    Basic Characteristics

    觀察

    image.png


    從光學(xué)顯微鏡到SEM領(lǐng)域一臺(tái)設(shè)備涵蓋

    • 42 至 28800 倍

    • 無(wú)需對(duì)焦

    • 適用于多種樣品

    測(cè)量


    image.png


    非接觸瞬間掃描形狀

    • 不會(huì)損傷目標(biāo)物

    • 納米級(jí)別也可準(zhǔn)確測(cè)量

    • 透明體和坡度大的目標(biāo)物也可測(cè)量

    分析


    image.png


    希望了解的表面“差異”一目了然

    • 定量化微小形狀

    • 輕松比較多個(gè)樣品

    • 粗糙度分析


    三重掃描方式
    解決“難以測(cè)量”的難題


    image.png


    可根據(jù)樣品工件的材料、形狀和測(cè)量范圍,選擇激光共聚焦、白光干涉、聚焦變化等三種不同的掃描原理,進(jìn)行高精度測(cè)量。


    最高分辨率0.01 nm


    image.png


    即使是納米級(jí)的微小形狀變化也能準(zhǔn)確測(cè)量。
    此外,如鏡面體、透明體等測(cè)量難度高的材料也能實(shí)現(xiàn)高速、高精度、大范圍的測(cè)量。


    連高度差較大的凹凸處
    和大范圍區(qū)域也能測(cè)量


    image.png


    最 大掃描區(qū)域50 mm見(jiàn)方。
    凹凸不平或手掌大小的物體也能整體掃描。
    只需一臺(tái)設(shè)備,即可同時(shí)掌握整體形狀和局部形狀。


    精確測(cè)量高倍率和低倍率。平面和凹凸面。

    適用于各種目標(biāo)物的測(cè)量能力



    廠商推薦產(chǎn)品

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