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等離子清洗機(jī)
- 品牌：沈陽科晶
- 型號/貨號： PCE-8/PCE-8
- 產(chǎn)地：遼寧 沈陽
- 供應(yīng)商報價：面議
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沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司
更新時間：2025-04-29 08:02:47 -
銷售范圍售全國
入駐年限第10年
營業(yè)執(zhí)照已審核
- 同類產(chǎn)品等離子清洗(14件)
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詳細(xì)介紹
PCE-8等離子清洗機(jī)是一款較大型的等離子清洗機(jī)，等離子腔體為 ?8.5"×12"的石英腔體，采用的射頻電源功率0- 100W連續(xù)可調(diào)節(jié)，采用的射頻為13.56MHz。本機(jī)主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物，同時也可改變物體表面的性質(zhì)（如親水和疏水性等），對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備。在單晶材料外延薄膜生長以前對其進(jìn)行預(yù)處理，將對生長具有顯著的作用。PCE-8等離子清洗機(jī)配有一個直連式雙旋真空泵，可對腔體進(jìn)行抽真空，同時通入氬氣等保護(hù)氣體，適用于對易氧化的物品的清洗。
1、采用6"彩色觸摸屏，可控制射頻功率、清洗時間、氣體流量、真空泵的開啟等。
2、內(nèi)部配有0-500mm/min的質(zhì)量流量計，可以精確地控制進(jìn)氣流量。
產(chǎn)品名稱
PCE-8等離子清洗機(jī)
產(chǎn)品型號
PCE-8
主要參數(shù)
1、電源：AC220V
2、射頻功率：ZD100W，可在0-100W間調(diào)節(jié)
3、真空泵功率：<500W
4、總功率：<600W
5、射頻：13.56MHz
6、等離子腔體：高純石英腔體，外徑?8.5"，內(nèi)徑?8.2"，長12"，采用鋁制折疊式法蘭進(jìn)行真空密封，法蘭設(shè)有一個?60mm的觀察窗口
7、極限真空度：50mtorr
8、通入氣體：可通入多種氣體，如N2、Ar、Air、H2、O2和混合氣體等等（根據(jù)材料性質(zhì)所定）清洗及蝕刻
產(chǎn)品規(guī)格 尺寸：620mm×450mm×600mm
可選配件 1、300W、600W射頻電源（進(jìn)行等離子刻蝕和等離子灰化等實(shí)驗(yàn)）
2、2"-6"石英舟（盛放基片）
3、2-4通道浮子混氣系統(tǒng)
4、2-4通道質(zhì)子混氣系統(tǒng)
5、直連式雙旋真空泵（240L/min）
6、KF25波紋管
7、KF25手動擋板閥
滬公網(wǎng)安備 31011502008050號