無機(jī)非金屬材料掃描樣品SEM的制備流程

無機(jī)非金屬材料掃描樣品的制備流程

1	材料固定	MTI加熱平臺
2	切割	SYJ-200精密切割機(jī)、STX-202A小型金剛石線切割機(jī)
3	鑲嵌	HXQ-50自動熱鑲嵌機(jī)
4	研磨拋光	UNIPOL-810精密研磨拋光機(jī)
5	清洗	PCE-6V小型等離子清洗機(jī)
6	濺射	VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀
7	電子顯微鏡	KYKY-EM8000場發(fā)射掃描電子顯微鏡
8	耗材	金剛石線、外圓切割機(jī)用的各類鋸片、切割專用油、切割冷卻粉、油石、 陶瓷樹脂襯墊、石蠟、砂紙、金剛石磨片、樹脂基金剛石磨片、 研磨紙、研拋底片、磨料、拋光墊、拋光液、拋光膏、磁力橡膠、 水晶膠、硬性冷鑲模、軟性冷鑲模、彈性樣品夾（冷鑲嵌）、靶材

樣品要求：試樣經(jīng)切割和磨拋處理成適宜掃描電鏡觀察的大小后還應(yīng)進(jìn)行噴金或蒸碳處理，使其導(dǎo)電。

切割設(shè)備：沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司生產(chǎn)適用于無機(jī)非金屬材料切割的的金剛石線切割機(jī)的型號有STX-202A、STX-1202A、STX-202AQ、STX-603 、STX-2401、STX-402、STX-2017種。外圓切割機(jī)的型號有：SYJ-400 、SYJ-200、SYJ-150、SYJ-160、SYJ-800 、 SYJ-50 6種。可根據(jù)材料的大小、切割的具體要求選擇合適的切割設(shè)備。

耗材：金剛石線切割機(jī)用的各類直徑的金剛石線、外圓切割機(jī)用的各類鋸片、切割專用油、切割冷卻粉、油石。

切割輔助設(shè)備：沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司生產(chǎn)的MTI-3040和MTI-250加熱平臺，設(shè)備操作簡單，溫度≤200℃。

耗材：陶瓷樹脂襯墊、石蠟

試樣的鑲嵌：沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司生產(chǎn)的適用于無機(jī)非金屬材料的冷鑲嵌機(jī)的型號為CXQ-2500。

耗材：水晶膠、硬性冷鑲模、軟性冷鑲模、彈性樣品夾（冷鑲嵌）

樣品的磨拋：沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司生產(chǎn)的手動研磨拋光機(jī)型號有UNIPOL-820、UNIPOL-830、UNIPOL-1210三種。自動精密研磨拋光機(jī)型號有UNIPOL-810、UNIPOL-802、 UNIPOL-1202、 UNIPOL-1502四種。自動壓力研磨拋光機(jī)型號有UNIPOL-1000D、UNIPOL-1200S、 UNIPOL-1200M、UNIPOL-800M、UNIPOL-1260五種。 及雙面研磨拋光機(jī)UNIPOL-160D一種。

耗材：砂紙、金剛石磨片、樹脂基金剛石磨片、研磨紙、研拋底片、磨料、拋光墊、拋光液、拋光膏、磁力橡膠

樣品的清洗：沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司生產(chǎn)的超聲波清洗機(jī)的型號有VGT-1620QTD、VGT-1620TD兩種。等離子清洗設(shè)備的型號有PCE-6、PCE-8、GSL1100X-PJF、GSL-1100X-PJF-A四種。可根據(jù)樣品自身的特性選擇合適的清洗方法。

樣品表面噴金和蒸碳：沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司生產(chǎn)的VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀， GSL-1100X-SPC-16C濺射蒸鍍膜儀是電鏡實(shí)驗(yàn)室噴金和蒸碳常用的ZJ設(shè)備。

耗材：靶材

樣品觀察：將已經(jīng)導(dǎo)電的試樣用導(dǎo)電雙面膠粘接到載樣臺上之后就可以用掃描電子顯微鏡進(jìn)行觀察了。

以上設(shè)備和對應(yīng)耗材沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司均有銷售。