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    INFICON BPG400 B-A型皮拉尼真空計(jì) 353-502

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    產(chǎn)品特點(diǎn)

    INFICON BPG400 B-A型皮拉尼真空計(jì) 353-502
    INFICON B-A型皮拉尼復(fù)合真空計(jì), BPG400, 兩個(gè)真空計(jì)復(fù)合在一個(gè)小型單元中測(cè)量范圍從 5 x 10-10 毫巴至大氣壓 (3.8 x 10-10 乇至大氣壓). 復(fù)合技術(shù)降低了安裝,設(shè)置和集成的復(fù)雜性. 選 BPG400 用于可及的和可再現(xiàn)的過程, 在一個(gè)經(jīng)濟(jì)的真空計(jì)組件中執(zhí)行基本的壓強(qiáng)測(cè)量.

    詳細(xì)介紹



    INFICON BPG400 B-A型皮拉尼真空計(jì)  353-502

     

    INFICON B-A型皮拉尼復(fù)合真空計(jì), BPG400, 兩個(gè)真空計(jì)復(fù)合在一個(gè)小型單元中測(cè)量范圍從 5 x 10-10 毫巴至大氣壓 (3.8 x 10-10 乇至大氣壓). 復(fù)合技術(shù)降低了安裝,設(shè)置和集成的復(fù)雜性. 選 BPG400 用于可及的和可再現(xiàn)的過程, 在一個(gè)經(jīng)濟(jì)的真空計(jì)組件中執(zhí)行基本的壓強(qiáng)測(cè)量.

     

    優(yōu)勢(shì):

    極寬的測(cè)量范圍從 5 x 10-10 毫巴至大氣壓 (3.8 x 10-10 乇至大氣壓)

    過程壓強(qiáng)范圍從 10-8 … 10-2 毫巴,再現(xiàn)性 5%

    皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù) B-A型系統(tǒng)防止燈絲過早燒毀和來自高壓強(qiáng)運(yùn)行的過度污染

    長(zhǎng)壽命的涂敷氧化釔的銥燈絲

    可選圖形顯示器和現(xiàn)場(chǎng)總線接口

    自動(dòng)高真空皮拉尼調(diào)整減少操作人員的干預(yù)

    RoHS 兼容性

     

    用途: 

    在半導(dǎo)體過程和傳送室中的壓強(qiáng)測(cè)量

    工業(yè)鍍膜

    在低至超高真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量和控制

     

     

    技術(shù)規(guī)格

    型號(hào)
    燈絲

    BPG400
    單-涂銥氧化釔燈絲

    BPG402-S
    雙-涂銥氧化釔燈絲

    BCG450
    涂銥氧化釔燈絲/電容薄膜

    測(cè)量范圍

    5 × 10E-10至1000 mabr

    5 × 10E-10至1500 mabr

    精度(N2)
    10E-8至10-2mbar(BPG400/BPG402-S)
    10E-8至50mbar(僅BCG450)
    50至950 mbar(僅BCG450)
    950至1050 mbar(僅BCG450)

    ±15%讀數(shù)

    ±15%讀數(shù)
    ±5%讀數(shù)
    ±2%讀數(shù)

    重復(fù)性
    10E-8至10-2mbar

    ±5%讀數(shù)

    除氣
    P<7.2 × 10E-6mbar

    電子轟擊,至多3分鐘

    輸出信號(hào)

    電壓范圍:0至+10V模擬;可選RS485,Profibus-DP,DevicenNet

    電源電壓
    直流/安培

    +20至+28Vdc
    0.8A

    電氣連接件

    D-sub 15針;Profibus-DP/RS485(D-sub 9針+15針);DeviceNet標(biāo)準(zhǔn)接頭

    工作溫度

    +0至+50℃

    烘烤溫度(未工作)
    法蘭處
    延伸件
    移除電子部分


    80℃
    150℃
    150℃

    防護(hù)等級(jí)

    IP30

     

    訂貨號(hào):

    BPG400 B-A型皮拉尼真空計(jì)  DN 40 CF-R    353-502


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