Inficon英福康CDG025D電容膜片式真空計377-001

CDG025D電容膜片式真空計377-001

INFICON SKY CDG025D 電容膜片真空計是高精度溫度補償型真空計設計用于在嚴酷的制造工具環(huán)境中具有穩(wěn)定的性能. 數(shù)字電子學提高真空計的性能和提供容易操作的特點如一鍵調(diào)零的功能和設點調(diào)整. 抗腐蝕的超純陶瓷傳感器提供的零點穩(wěn)定性, 以及引起能達到數(shù)百萬次壓力循環(huán)包括大氣沖擊的長的使用壽命.獨特的傳感器屏蔽保護真空計防止過程污染. 經(jīng)久耐用的機械結(jié)構和數(shù)字電子學提高 EMC 兼容性, 長期穩(wěn)定性和溫度補償能力. CDG025D 為加電源后的快速穩(wěn)定性和暴露大氣后的快速恢復性設定新的標準.

優(yōu)勢：

全量程范圍從100毫乇 … 1000乇

加電源后快速穩(wěn)定性

從大氣壓的快速恢復性

抗腐蝕的陶瓷傳感器

長期訊號穩(wěn)定性

溫度補償

傳感器有防污染保護

一鍵調(diào)零功能

寬范圍電源

兩個設點 (可選)

RS232 接口 (可選)

用途：

半導體制造設備用于刻蝕, CVD, PVD, ALD

數(shù)據(jù)貯存和顯示器制造設備

工業(yè)真空設備

一般高精度壓強測量

訂貨號：

CDG025D電容膜片式真空計 10Torr  DN 16 ISO-KF  377-001