荷蘭SCIL全自動(dòng)納米壓印光刻機(jī)

荷蘭SCIL公司簡(jiǎn)介

  荷蘭SCIL公司是知名的納米壓印設(shè)備供應(yīng)商，是荷蘭飛利浦公司投資的高科技公司之一，其“SCIL基底保形壓印”技術(shù)，結(jié)合了小面積硬壓與大面積軟壓的優(yōu)勢(shì)，真正意義上實(shí)現(xiàn)了納米壓印技術(shù)的工業(yè)12寸wafer級(jí)量產(chǎn)，已經(jīng)被國(guó)際上很多知名fab廠采用。

       “SCIL基底保形壓印光刻”是一種經(jīng)濟(jì)高效、穩(wěn)健、高產(chǎn)量的工藝，可在多種材料上實(shí)現(xiàn)納米分辨率圖案。SCIL可實(shí)現(xiàn)在達(dá) 300 毫米的晶圓區(qū)域上提供經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的高質(zhì)量壓印。它可用于制作特征尺寸小于 10 nm 和套刻對(duì)齊精度小于 1 μm 的圖案。

  荷蘭SCIL公司同時(shí)開(kāi)發(fā)了無(wú)機(jī)玻璃納米壓印光刻膠，可直接作為功能層使用，可直接省去2個(gè)工藝步驟，大大降低了生產(chǎn)成本。

       SCIL 目前可提供2” 至 12”晶圓手動(dòng)研發(fā)工具到全自動(dòng)系統(tǒng)的全方位解決方案，并可以幫助客戶(hù)優(yōu)化設(shè)備、耗材和流程，以實(shí)現(xiàn)大批量生產(chǎn)。

 SCIL 技術(shù)特色

  - 即使在非平坦和彎曲的表面上也可以保證保形接觸印刷（模板復(fù)制技術(shù)）。

  - 獨(dú)特的 SCIL 壓印工藝可確保＜10 nm 分辨率、低圖案變形和無(wú)顆粒損壞印模。

  - 套刻對(duì)齊精度：< 1 μm

  - -gel的優(yōu)異蝕刻特性可得到極高的蝕刻率。

  - Sol-gel的的熱穩(wěn)定性、光學(xué)透明度和（UV）穩(wěn)定性使其適合作為功能層。

  - 使用熱Sol-gel大大增加了母版壽命。

  - 總體而言，SCIL可將超高的壓印質(zhì)量和產(chǎn)量與高吞吐量和低總體擁有成本相結(jié)合。

 AutoSCIL型全自動(dòng)納米壓印系統(tǒng)簡(jiǎn)介

AutoSCIL型全自動(dòng)納米壓印系統(tǒng)包括所有基本工藝步驟：晶片處理、預(yù)對(duì)準(zhǔn)、旋涂、SCIL 壓印、烘烤和冷卻。

技術(shù)參數(shù)

應(yīng)用

  納米圖案化是眾多納米光子應(yīng)用的關(guān)鍵工藝步驟。下面提到的應(yīng)用程序只是一個(gè)選擇。其他應(yīng)用包括：

  - 增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)和虛擬現(xiàn)實(shí) (AR/VR) 光學(xué)

      - MicroLED

      - MEMS和傳感器