荷蘭Fastmicro表面顆粒檢測儀

一、儀器名稱：表面顆粒度檢測儀

二、品牌型號：荷蘭Fastmicro公司FM-PS-SAS-V01型

三、產(chǎn)品簡介

荷蘭Fastmicro FM-PS-SAS-V01型表面顆粒度檢測系統(tǒng)，采用采樣器在待測樣品表面取樣，間接測量樣品表面顆粒污染水平。采樣器從待測樣品表面收集顆粒（90%的表面顆粒都會被收集），且不會留下任何殘留物。樣品測試在幾秒鐘內(nèi)即可完成，客戶能夠在一分鐘內(nèi)完成整個工作流程。

主要用于半導(dǎo)體設(shè)備制造商及芯片制造商評價設(shè)備及零部件的清潔度，判斷設(shè)備是否會引入顆粒污染，進(jìn)而判斷設(shè)備是否可以用于芯片生產(chǎn)，如果表面有顆粒污染，需要進(jìn)行清潔才能正常運行。同時該設(shè)備可用于監(jiān)測超凈間的潔凈水平。

四、原理簡介

  采用專利技術(shù)米氏散射原理檢測表面微觀顆粒，光源發(fā)出的平行光照射待測表面，遇到表面的突起顆粒發(fā)生米氏散射，攝像頭傳感器以一定角度接收到散射信號，根據(jù)散射信號可獲取關(guān)于待測表面顆粒尺寸信息。

五、主要參數(shù)

六、應(yīng)用案例

七、選項

（1）取樣器

顆粒去除率>90%，并且PMC不會留下任何殘留物。采樣器存放在一個特定的盒子中。

（2）潔凈間粒子沉降監(jiān)測模塊

該模塊包含兩部分：

n  晶圓支架：用于關(guān)鍵區(qū)域的顆粒收集

n  適配器器：將支架固定方便放入表面顆粒掃描儀中進(jìn)行掃描分析

將標(biāo)準(zhǔn)晶圓放置在晶圓支架上，將晶圓支架放置超凈間或者制造地點，持續(xù)一段時間檢測沉積在晶圓表面的顆粒情況，判斷超凈間或者制造地點的顆粒沉降水平，符合ISO 14644-17標(biāo)準(zhǔn)，它對評價超凈間的潔凈程度及潔凈室內(nèi)的相關(guān)半導(dǎo)體工藝開發(fā)特別有用。