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德國G&N雙砂輪晶圓研磨機(jī)/減薄機(jī)
- 品牌：德國G&N
- 型號： MPS R400CV TWIN
- 產(chǎn)地：歐洲 德國
- 供應(yīng)商報(bào)價(jià)：面議
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倬昊納米科技（上海）中心
更新時(shí)間：2024-04-21 22:44:05 -
銷售范圍售全國
入駐年限第4年
營業(yè)執(zhí)照已審核
- 同類產(chǎn)品晶圓研磨減薄機(jī)(3件)
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詳細(xì)介紹
產(chǎn)品簡介
德國G&N公司前身為1940年成立的德國Kugelmüller有限公司，并于1964年開發(fā)了世界首臺半導(dǎo)體晶圓研磨機(jī)。MPS R400 CV TWIN型晶圓研磨機(jī)是德國G&N公司開發(fā)的一款8寸雙軸晶圓研磨/減薄系統(tǒng)，采用了G&N公司先進(jìn)的研磨技術(shù)，主要用于對半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行減薄與精密研磨，該系統(tǒng)采用一個(gè)主軸，同時(shí)安裝粗磨砂輪和精磨砂輪，自動(dòng)切換，系統(tǒng)穩(wěn)定性好，研磨精度高，適合科研客戶及小批量生產(chǎn)客戶。
技術(shù)特色
- 立式進(jìn)給研磨加工方式，通過金剛石砂輪對晶圓進(jìn)行高速減薄加工
- 兼容2,3,4,5,6，8寸晶圓減薄與研磨
- 一個(gè)主軸安裝粗磨砂輪與精磨砂輪
- 粗磨和精磨自動(dòng)轉(zhuǎn)換
- 砂輪進(jìn)給采用高精度伺服電機(jī)進(jìn)行控制，磨削精度高
- 系統(tǒng)采用高精度平衡系統(tǒng)，可補(bǔ)償在減薄過程中抖動(dòng)，加工穩(wěn)定性好，重復(fù)加工精度高
- 全封閉研磨區(qū)
- 砂輪為金剛石或者CBN
- 多種不同粒度和材料的砂輪用于研磨不同的材料
- 高精度PLC控制器
- 超低限度的TTV
- 可設(shè)置多個(gè)recipe程序自動(dòng)運(yùn)行
- 多種尺寸的真空夾具
- 可配置膜厚測量模塊
-對話式人機(jī)PC操作界面，觸摸屏幕，操作簡便，可儲存多個(gè)recipes
主要參數(shù)：
研磨尺寸
兼容2” 3” 4” 5” 6” 8”
樣品臺平面起伏誤差
≤2μm
研磨方式
Z向切入方式，晶片與主軸同步旋轉(zhuǎn)
金剛石/CBN砂輪直徑
200mm
主軸數(shù)量
1個(gè)
單次可研磨wafer數(shù)量
32 x 2’’; 16 x 3’’; 8 x 4’’ ; 5 x 5’’; 4 x 6’’ ; 2 x 8’’
主軸類型
內(nèi)置高精度電機(jī)
空氣靜壓主軸
粗、精進(jìn)給范圍
170mm
砂輪類型
雙砂輪
進(jìn)給精度
≤1μm
砂輪切換方式
自動(dòng)
最小步長
0.1μm
粗磨速度
2-1000μm/min
加工后的表面粗糙度Ra
取決于砂輪，
使用D7,Ra為0.016μm
精磨速度
2-1000μm/min
加工后單片厚度偏差TTV
≤3μm
主軸功率
3.7 KW
晶片與晶片之間的厚度偏差
≤2μm
主軸轉(zhuǎn)速
2560min-1
重量
1130kg
樣品臺直徑
400mm
占地面積
1640 x 1210 mm
樣品臺轉(zhuǎn)速
2-20rpm
控制器
PLC控制系統(tǒng)
產(chǎn)品應(yīng)用：
可研磨多種半導(dǎo)體材料，如AlN; Al2O3; GaAs; K2O,GaN; Ge; InP; Si; SiC; Si2N4等
滬公網(wǎng)安備 31011502008050號