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    日立 Hitachi SU8700 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡

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    詳細介紹

    超高分辨肖特基場發(fā)射掃描電子顯微鏡SU8700

    隨著快速數(shù)據(jù)采集和數(shù)據(jù)處理技術(shù)的發(fā)展,電子顯微鏡進入了一個不僅重視數(shù)據(jù)質(zhì)量,而且注重其采集過程的時代。SU8700作為一款面向新時代的SEM,在日立電鏡貫有的高圖像質(zhì)量和高穩(wěn)定性的基礎(chǔ)上,增加了包括自動獲取數(shù)據(jù)等高通量的功能。


    超高分辨觀察和強分析能力

    日立的高亮度肖特基場發(fā)射電子槍可同時支持超高分辨觀察和快速微束分析。在不使用樣品臺減速的情況下,僅用0.1 kV的低加速電壓仍可進行高分辨觀察,適應(yīng)更多應(yīng)用場景。同時,可搭配多種新型探測器和其他豐富的選配項,滿足更多的觀測需求。


    先進的自動化功能*

    EM Flow Creator 允許客戶創(chuàng)建連續(xù)圖像采集的自動化工作流程。EM Flow Creator將不同的SEM功能定義為圖形化的模塊,如設(shè)置放大倍率、移動樣品位置、調(diào)節(jié)焦距和明暗對比度等。用戶可以通過簡單的鼠標拖拽,將這些模塊按邏輯順序組成一個工作程序。經(jīng)過調(diào)試和確認后,該程序便可以在每次調(diào)用時自動獲得高質(zhì)量、重現(xiàn)性好的圖像數(shù)據(jù)。


    強大的顯示及交互特性

    原生支持雙顯示器,提供靈活、高效的操作空間。
    6通道同時顯示與保存,實現(xiàn)快速的多信號觀測與采集,帶來更多信息。
    單次掃描最高支持 40,960×30,720 的超高像素*


    規(guī)格

    電子光學系統(tǒng)二次電子分辨率0.6 nm@15 kV
    0.8 nm@1 kV
    0.9 nm@0.3 kV
    放大倍率20 ~ 2,000,000 x
    電子槍肖特基場發(fā)射電子源
    加速電壓0.1 ~ 30 kV
    著陸電壓*1,*30.01 ~ 7 kV
    最大束流200 nA
    探測器標配探測器上探測器(UD)
    下探測器(LD)
    選配探測器*3鏡筒內(nèi)背散射電子探測器(MD)
    半導體式背散射電子探測器(PD-BSE)
    高靈敏低真空探測器(UVD)
    掃描透射探測器(STEM)
    選配附件*2X射線能譜儀(EDS)
    電子背散射衍射探測器(EBSD)
    樣品臺馬達驅(qū)動軸5軸馬達驅(qū)動
    移動范圍
     X0 ~ 110 mm
     Y0 ~ 110 mm
     Z1.5 ~ 40 mm
     T-5 ~ 70°
     R360°
    樣品室樣品尺寸最大直徑:150 mm*4
    低真空模式真空范圍5 ~ 300 Pa

    *1減速模式下

    *2可配置的探測器

    *3選配項

    *4




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