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    德國 Sentech 等離子刻蝕機 SI 591

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    產(chǎn)品特點

    產(chǎn)品特點
    德國 Sentech 等離子刻蝕機 SI 591, 所有材料的蝕刻,金屬濺射,亞微米蝕刻
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    德國 Sentech 等離子刻蝕機 SI 591


    主要特點
    負載鎖
    最大

    詳細介紹

                                 德國SENTECH 等離子刻蝕機

    • 德國 Sentech 等離子刻蝕機 SI 591, 所有材料的蝕刻,金屬濺射,亞微米蝕刻

    • 詳細介紹

    • 德國 Sentech 等離子刻蝕機 SI 591


      主要特點

      ? 負載鎖

      ? 最大 8 英寸晶圓

      ? 緊湊的設計

      ? 占地面積小


      應用特點

      ? 所有材料的蝕刻

      ? 金屬濺射

      ? 亞微米蝕刻


      技術(shù)特點

      ? 600 瓦,13.56 MHz

      ? 360 升/秒渦輪分子泵

      ? 旋轉(zhuǎn)前級泵

      ? 負載鎖

      ? 集成氣箱

      ? 多達 12 條燃氣管線

      ? 最 大 8 英寸晶圓

      ? 設計緊湊,占地面積小


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