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    EVG620 單面/雙面光刻機(jī)(帶有壓印功能),EVG620 是一款非常靈活和可靠的光刻設(shè)備,可配置為半自動(dòng)也可以為全自動(dòng)形式。EVG620 既可以用作雙面光刻機(jī)也可以用作 150mm 硅片的精確對(duì)準(zhǔn)設(shè)備;既可以用作研發(fā)設(shè)備,也可以用作量產(chǎn)設(shè)備。精密的契型補(bǔ)償系統(tǒng)配以計(jì)算機(jī)控制的壓力調(diào)整可以確保良率和掩膜板壽命的大幅提升,進(jìn)而降低生產(chǎn)成本。EVG620 先進(jìn)的對(duì)準(zhǔn)臺(tái)設(shè)計(jì)在保證精確的對(duì)準(zhǔn)精度和曝光效果的同時(shí),可以大幅提高產(chǎn)能。

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