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通用迷你溫控探針臺真空腔

品牌：英斯特科
型號： HCP421SV-MPS
產(chǎn)地：美洲美國
供應(yīng)商報價：面議

上海恒商精密儀器有限公司更新時間：2021-05-08 15:51:08

銷售范圍售全國

入駐年限第10年

營業(yè)執(zhí)照已審核

同類產(chǎn)品溫控探針臺 / 美國Instec(2件)

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通用迷你溫控探針臺真空腔核心參數(shù)

溫度范圍

-190℃ ~ 400℃（負溫需配液氮制冷系統(tǒng)）

溫度穩(wěn)定性

±0.05℃（>25℃），±0.1℃（<25℃）

產(chǎn)品特點

HCP421SV-MPS Instec的真空型mini臺式探針臺系列是可從外部移動探針進行點針的桌上型探針臺，涵蓋多型號、多溫度范圍。同時允許溫控、探針電測試、光學(xué)觀察和樣品氣體環(huán)境控制。探針臺上蓋與底殼構(gòu)成一個可抽真空的密封腔，亦可內(nèi)充入氮氣等保護氣體，來防止樣品在負溫下結(jié)霜，或高溫下氧化。

詳細介紹

功能特點

mimi型溫控探針臺，可集成到各種光學(xué)設(shè)備

可編程控溫，涵蓋-190℃~1000℃（具體由型號而定）

適用 10 mm ~ 50 mm 晶圓和器件

可抽真空的腔體，亦可充入保護氣體使用

獨立的四個探針，可從設(shè)備外部移動探針進行點針

可從溫控器或電腦軟件控制，可提供軟件SDK

*可做定制或改動，詳詢上海恒商

溫控參數(shù)

溫度范圍	-190℃~400℃（負溫需配液氮制冷）
加熱塊材質(zhì)	銀
傳感器/溫控方式升溫速率	100Ω鉑RTD / PID控制（含LVDC降噪電源） 120℃/min（at 100℃）
溫控速度	±0.01℃/min
溫度分辨率	0.01℃ RTD傳感器
溫度穩(wěn)定性	±0.05℃（>25℃），±0.1℃（<25℃）
軟件功能	可設(shè)溫控速率，可設(shè)溫控程序，可記錄溫控曲線

電學(xué)參數(shù)

探針	默認為錸鎢材質(zhì)的彎針探針
探針座	可從外部XYZ移動的探針臂粗調(diào)模式+微調(diào)模式，微調(diào)行程2mm
點針	從外部移動點針，每個探針座都可點到樣品區(qū)上任意位置
探針接口	默認為BNC接頭，可選三同軸接口
樣品臺面電位	默認為電接地，可選電懸空（作背電極），可選三同軸接口

光學(xué)參數(shù)

適用光路	反射光路
窗片	可拆卸與更替的窗片
物鏡工作距離	12 mm *截面圖中WD
上蓋窗片觀察	窗片范圍φ50mm，視角±40° *截面圖中θ1
負溫下窗片除霜	吹氣除霜管路

結(jié)構(gòu)參數(shù)

適用樣品	10 mm ~ 50 mm 直徑（標準）
樣品腔高	8 mm
探針座	可從外部XYZ移動的探針臂粗調(diào)模式+微調(diào)模式，XY粗調(diào)20mm XY微調(diào)行程10mm,Z微調(diào) 3mm
氣氛控制	真空腔，也可充入保護氣體
外殼冷卻	可通循環(huán)水，以維持外殼溫度在常溫附近
臺體尺寸/重量	300 mm x 300 mm x 40 mm / 4kg

配置列表

基本配置	真空型臺式探針臺、mK2000B溫控器
可選配件	安裝支架、液氮制冷系統(tǒng)、外殼循環(huán)水冷系統(tǒng)、顯微鏡頭、真空系統(tǒng)、測試源表、三同軸BNC、臺面電懸空、樣品接電引線

可選型號

TP102SV-MPS	溫度范圍 -40℃ ~ 180℃，樣品區(qū),40mm*40mm
HCP421SV-MPS	溫度范圍 -190℃ ~ 400℃，樣品區(qū) 28mm*30mm
HCP402SV-MPS	溫度范圍 -190℃ ~ 400℃，樣品區(qū) 50mm*50mm
HP1000SG-MPS	溫度范圍 35℃ ~ 1000℃，樣品區(qū) 25mm*25mm,氣密腔室
定制型號	按客戶需求定制，適用300mm晶圓樣品