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    勻膠機(jī)

    勻膠機(jī)

    是在高速旋轉(zhuǎn)的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設(shè)備。膜的厚度取決于勻膠機(jī)的轉(zhuǎn)速和溶膠的黏度。主要用于晶片涂光刻膠,有自動(dòng)、手動(dòng)和半自動(dòng)三種工作方式。有一個(gè)或多個(gè)滴膠系統(tǒng),可涂不同品種的光刻膠。滴膠的方式有晶片靜止或旋轉(zhuǎn)滴膠。隨著晶片尺寸的增大,出現(xiàn)了多點(diǎn)滴膠或膠口移動(dòng)式滴膠。
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