
離子束刻蝕系統(tǒng)
也稱為離子銑,是指當(dāng)定向高能離子向固體靶撞擊時(shí),能量從入射離子轉(zhuǎn)移到固體表面原子上,如果固體表面原子間結(jié)合能低于入射離子能量時(shí),固體表面原子就會(huì)被移開或從表面上被除掉。通常離子束刻蝕所用的離子來自惰性氣體。離子束最小直徑約10nm。目前聚焦離子束刻蝕的束斑可達(dá)100nm以下,最少的達(dá)到10nm,獲得最小線寬12nm的加工結(jié)果。
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