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INSTEC XYZ模塊化高溫探針臺 HCP1000V-MPS
- 品牌：德國徠卡
- 產地：歐洲 德國
- 供應商報價：面議
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廣州領拓儀器科技有限公司
更新時間：2025-05-26 15:04:17 -
銷售范圍售全國
入駐年限第10年
營業(yè)執(zhí)照已審核
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產品特點
- HP1000V-MPS Instec的真空高溫探針臺系列是可從外部移動探針進行點針的桌上型探針臺，涵蓋多型號、多溫度范圍。同時允許溫控、探針電測試、光學觀察和樣品氣體環(huán)境控制。探針臺上蓋與底殼構成一個可抽真空的密封腔，亦可內充入氮氣等保護氣體，來防止樣品在負溫下結霜，或高溫下氧化。
詳細介紹
- 特點與優(yōu)勢
mimi型溫控探針臺，可集成到各種光學設備
可編程控溫，涵蓋RT~1000℃
適用 10 mm ~25 mm 晶圓和器件
可抽真空的腔體，亦可充入保護氣體使用
獨立的四個探針，可從設備外部移動探針進行點針
可從溫控器或電腦軟件控制，可提供軟件SDK
模塊化設計，可自由組合
*SMA接頭轉BNC四探針，手動點針 *可選三同軸接口，用于pA級測試溫控參數(shù)
溫度范圍 30℃~1000℃ 加熱塊材質 陶瓷 傳感器/溫控方式 最大升溫速率 S / PID控制（含LVDC降噪電源） 最大升溫速率 50℃/min 最小溫控速度 ±0.1℃/min 溫度分辨率 0.1℃ 溫度穩(wěn)定性 ±0.5℃ 軟件功能 可設溫控速率，可設溫控程序，可記錄溫控曲線 探針 默認為錸鎢材質的彎針探針 探針座 可從外部XYZ移動的探針臂 點針 從外部移動點針，每個探針座都可點到樣品區(qū)上任意位置 探針接口 默認為SMA接頭轉BNC
*可增設腔內接線柱（樣品接電引線）
樣品臺面電位 默認為電接地，可選電懸空（作背電極），可選三同軸接口 適用光路 反射光路 窗片 可拆卸與更替的窗片 最小物鏡工作距離 8/12 mm （可選） *截面圖中WD 上蓋窗片觀察 窗片范圍φ45mm，最大視角±58° *截面圖中θ1 負溫下窗片除霜 吹氣除霜管路 適用樣品 25 mm*25mm 樣品腔高 4/8 mm （可選） 探針座 可從外部XYZ移動的探針臂
粗調模式+微調模式，XY粗調20mm
XY微調行程10mm,Z微調 3mm調節(jié)精度 10um 氣氛控制 真空腔，也可充入保護氣體 外殼冷卻 可通循環(huán)水，以維持外殼溫度在常溫附近 臺體尺寸/重量 300 mm x 300 mm x 40 mm / 5 kg 基本配置 真空型臺式探針臺、mK2000B溫控器
可選配件 安裝支架、液氮制冷系統(tǒng)、外殼循環(huán)水冷系統(tǒng)、顯微鏡頭、防震桌、真空系統(tǒng)、測試源表、三同軸BNC、臺面電懸空、樣品接電引線
TP102V-MPS 溫度范圍 -40℃ ~ 180℃，樣品區(qū),40mm*40mm HCP421V-MPS 溫度范圍 -190℃ ~ 400℃，樣品區(qū)Φ26mm HCP402V-MPS 溫度范圍 -190℃ ~ 400℃，樣品區(qū) 50mm*50mm HP1000V-MPS 溫度范圍 35℃ ~ 1000℃，樣品區(qū) 25mm*25mm,真空腔室 定制型號 按客戶需求定制，最大適用300mm晶圓樣品 
典型應用表征薄膜、二維材料、納米材料和分子/有機材料器件的電性能測試
需要加熱塊表面電接地、接同軸BNC接口、三同軸BNC接口的
需要鎢錸探針、鈹銅探針或其他材料的探針的
需要從外部對臺體內探針進行XYZ移動的
晶圓、半導體器件、集成電路、印刷電路板、光伏板、LCD/LED測試
測量IV和CV特性、擊穿電壓、漏電流、電阻、介電常數(shù)和二極管效率
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滬公網安備 31011502008050號