日本雅馬拓 等離子試紙

■概要
○可隨低溫等離子強(qiáng)弱而引起顏色變化的試紙
○等離子功率強(qiáng)，處理時(shí)間長時(shí)，試紙色調(diào)變化速度會(huì)提高。
※色調(diào)變化原因?yàn)榈入x子進(jìn)行有機(jī)反應(yīng)或蝕刻時(shí)，會(huì)與試紙產(chǎn)生相互作用。
■特征
○等離子處理效果，可通過目測(cè)試紙顏色的變化而判定
○可通過觀察試紙的變化來判斷等離子 處理強(qiáng)度的平面空間分布
○氧氣，氬氣等適合半導(dǎo)體行業(yè)處理方式也有著廣泛的應(yīng)用


左上圖  PLAZMARK O2
O2以外，N2，Air，CF4，H2，NH3等氣體也適用。
上中圖  PLAZMARK Ar洗凈用
諸如Ar等離子這類較難感知的陽性等離子，該試紙同樣適用。
右上圖  PLAZMARK大氣壓等離子用
打印機(jī)配線板制造/FPD制造/膜加工等大氣壓等離子設(shè)備處理效果同樣可以用該試紙測(cè)試。
左下圖  PLAZMARK有機(jī)膜去除用
最適合打印設(shè)備 配線基板制造時(shí)，等離子清除有機(jī)膜后，進(jìn)行驗(yàn)證用。O2+CF4混合氣體也適用。
下中圖  PLAZMARK耐熱性
采用無機(jī)材料色材，耐熱性能好（貼紙型號(hào)200℃耐熱）。
右下圖 PLAZMARK硅晶圓行業(yè)
采用無機(jī)色彩，可以確保晶圓潔凈。超低氣體排放?？赡蜔?00℃。