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Leica EM TIC 3X 三離子束切割儀

深圳市新則興科技有限公司更新時(shí)間：2023-09-15 09:16:25

銷售范圍售全國

入駐年限第6年

營業(yè)執(zhí)照已審核

同類產(chǎn)品電鏡制樣(4件)

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產(chǎn)品特點(diǎn)

Leica EM TIC 3X通過離子槍激發(fā)獲得的離子束，以垂直于樣品側(cè)面縱向轟擊樣品，可獲得高質(zhì)量無應(yīng)力“切割”截面，以用于掃描電子顯微鏡（SEM），顯微結(jié)構(gòu)分析（EDS，WDS，Auger，EBSD）和AFM研究、觀察。

高通量，提高成本收益

簡(jiǎn)單易用，高精度

多種多樣的樣品載臺(tái)

幾乎適合于各式尺寸樣品，并適合于廣泛用途。如用一個(gè)樣品托，就可以完成前機(jī)械預(yù)制備(Leica EM TXP)至離子束切割(Leica EM TIC 3X)，以及 SEM 鏡檢，然后再放入樣品存儲(chǔ)盒中以備后續(xù)檢測(cè)。

襯度增強(qiáng)作用

在離子束切割之后，無需取下樣品，用同樣的樣品載臺(tái)還可對(duì)樣品進(jìn)行襯度增強(qiáng)作用，可以強(qiáng)化樣品內(nèi)不同相之前的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)(如晶界)。

人體工學(xué)設(shè)計(jì)，簡(jiǎn)單易用；與LeicaEMTXP相兼容。

技術(shù)參數(shù)
樣品尺寸	可容納樣品尺寸50X50X10mm，可獲得有效切割截面面積>4mmX1mm 表面拋光最大可容納樣品φ38mm，厚度12mm
離子槍
離子槍類型	3 只鞍式離子槍，獨(dú)立電源控制。
離子束能量	1 keV - 10 keV
離子束電流	0.5 - 4.5 mA，0.1 mA 步長調(diào)節(jié) (單個(gè)離子槍)
離子束密度	10 mA/cm2(單個(gè)離子槍)
切割速率(邊緣 50 μm 處)	2.5 μm/min (100% Si:10 keV，3.5 mA)
陰極使用壽命	> 350 h(8 kV，3.0 mA)
工作氣體
氬氣，純度 99.999%(也可以使用其他氣體)。
輸入氣壓 0.2 - 0.8 bar
觀察系統(tǒng)
S6E(16771437):最大放大倍率(40 x)、分辨率(~ 12 μm)。
M80(16771438):最大放大倍率(77 x)、分辨率(~ 7 μm)。
M80(16771439):最大放大倍率(23 x)、分辨率(~ 3 μm)。
樣品臺(tái)
可選配：液氮制冷冷臺(tái)-150°至30°，25L液氮罐及自動(dòng)泵，具有自動(dòng)快速制冷功能
可選配：三樣品臺(tái)，可一次連續(xù)處理三個(gè)樣品
可選配：旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，用于對(duì)樣品進(jìn)行離子束拋光
環(huán)境條件
濕度	≤ 80%(無冷凝水)。
溫度	15 °C - 30 °C
海拔	低于2000 m
設(shè)備污染指數(shù)(IEC 61010-1)	2