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    MicroXact高精度半自動化探針臺

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    產(chǎn)品特點

    SPS 2600-HP,SPS 2800-HP和SPS 12000-HP系列系統(tǒng)是MicroXact的半自動探針臺,設(shè)計靈活,易于使用,可用于GX設(shè)備表征,晶圓級可靠性測試和故障分析。這些半自動探針臺系統(tǒng)設(shè)計用于支持zui多200mm晶圓的手動和半自動探測。

    詳細介紹


    SPS 2600-HP,SPS 2800-HP和SPS 12000-HP系列系統(tǒng)是MicroXact的半自動探針臺,設(shè)計靈活,易于使用,可用于gao效設(shè)備表征,晶圓級可靠性測試和故障分析。這些半自動探針臺系統(tǒng)設(shè)計用于支持最多200mm晶圓的手動和半自動探測。

    高分辨率復(fù)合顯微鏡。

    偏光顯微鏡。

    廣泛的相機選擇。

    射頻可偏置卡盤和屏蔽罩。

    拋光鍍金可調(diào)節(jié)真空吸盤。

    超完全真空泵。

    溫度范圍為-65°C> 400°C的熱卡盤(也可以使用更高的溫度)。

    適用于超聲波和激光切割的系統(tǒng)。

    可選擇XY平移臺和超堅固的焊接鋼橋,用于高分辨率顯微鏡。

    高分辨率復(fù)合顯微鏡。

    偏光顯微鏡。

    廣泛的相機選擇。

    射頻可偏置卡盤和屏蔽罩。

    拋光鍍金可調(diào)節(jié)真空吸盤。

    超完全真空泵。

    溫度范圍為-65°C> 400°C的熱卡盤(也可以使用更高的溫度)。

    適用于超聲波和激光切割的系統(tǒng)。

    可選擇XY平移臺和超堅固的焊接鋼橋,用于高分辨率顯微鏡。

    型號SPS-12000-HPSPS-2800-HPSPS-2600-HP
    晶圓尺寸高達300mm高達200mm高達100mm
    電機類型步進電機
    XY舞臺行程高達300mmx300mm高達200mmx200mm高達100mmx100mm
    饋通終端BNCTriax或香蕉插頭
    系統(tǒng)尺寸101CMx91CMx 88CM122CMx122CMx 92CM78CMx80CMx 58CM


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