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KLOE 微流控芯片光刻機(jī)/曝光機(jī) UV-KUB系列

品牌：北京燕京電子
型號(hào)： UV-KUB系列
產(chǎn)地：歐洲法國(guó)
供應(yīng)商報(bào)價(jià)：面議

北京燕京電子有限公司更新時(shí)間：2023-03-06 10:34:29

銷(xiāo)售范圍售全國(guó)

入駐年限第6年

營(yíng)業(yè)執(zhí)照已審核

同類(lèi)產(chǎn)品PMDS芯片制備系統(tǒng)(8件)

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產(chǎn)品特點(diǎn)

法國(guó)KLOE公司在光刻方面有著豐富的經(jīng)驗(yàn)，其研發(fā)的UV- KUB系列光刻機(jī)是一種基于UV LED的曝光機(jī)系統(tǒng)，結(jié)構(gòu)緊湊，可以直接放置在實(shí)驗(yàn)臺(tái)上，能夠處理zuida直徑4英寸的晶圓，兼容硬接觸（接觸式）或者軟接觸（接近式）工藝，可自動(dòng)調(diào)整掩膜高度以適應(yīng)不同的基板厚度，可使用365 nm或405 nm的光源，不需要預(yù)熱，也不需要單獨(dú)的冷卻單元。另外，UV-KUB系列先進(jìn)的設(shè)計(jì)，保證了光源的準(zhǔn)直性和均勻性，其zui小分辨率可達(dá)2μm，zuida發(fā)散角小于2°
本系統(tǒng)適用于市面上常用的光刻膠，如AZ系列、Shipley系列、SU-8系列和K-CL系列。

詳細(xì)介紹

KLOE 微流控芯片光刻機(jī)/曝光機(jī) UV-KUB系列

圖片

1 550.jpg

簡(jiǎn)介

法國(guó)KLOE公司在光刻方面有著豐富的經(jīng)驗(yàn)，其研發(fā)的UV- KUB系列光刻機(jī)是一種基于UV LED的曝光機(jī)系統(tǒng)，結(jié)構(gòu)緊湊，可以直接放置在實(shí)驗(yàn)臺(tái)上，能夠處理最大直徑4英寸的晶圓，兼容硬接觸（接觸式）或者軟接觸（接近式）工藝，可自動(dòng)調(diào)整掩膜高度以適應(yīng)不同的基板厚度，可使用365 nm或405 nm的光源，不需要預(yù)熱，也不需要單獨(dú)的冷卻單元。另外，UV-KUB系列先進(jìn)的設(shè)計(jì)，保證了光源的準(zhǔn)直性和均勻性，其最小分辨率可達(dá)2μm，最大發(fā)散角小于2°

本系統(tǒng)適用于市面上常用的光刻膠，如AZ系列、Shipley系列、SU-8系列和K-CL系列。

規(guī)格參數(shù)

項(xiàng)目	UV-KUB 2	UV-KUB 3
最小分辨率	2 μm	2 μm
光源波長(zhǎng)	365 nm / 385 nm / 405 nm	365 nm
能量密度	25 mW / cm2 ± 10 %	30 mW / cm2 ± 10 %
熱效應(yīng)最大升溫	< 1°C	< 1°C
曝光時(shí)間	1s~18 hours	1s~18 hours
最大存儲(chǔ)程序數(shù)量	10個(gè)	無(wú)限制
對(duì)準(zhǔn)分辨率	/	< 3 μm
外形尺寸	260 x 260 x 260 mm3	480 x 480 x 480 mm3
重量	8.2 kg	55 kg
顯示屏	彩色觸摸屏5.7 inches	彩色觸摸屏15.6 inches

功能圖解

UV-KUB 2型光刻機(jī)，是國(guó)際市場(chǎng)上第一款采用UV-LED光源系統(tǒng)的光刻機(jī)，其配備了基于LED光源的光學(xué)頭，使用壽命大大提高，結(jié)構(gòu)小巧，性?xún)r(jià)比高，非常適合實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用。

UV-KUB 3是一款帶對(duì)位功能的UV-LED曝光機(jī)，光源為365nm，其觸摸屏和CCD相機(jī)代替了傳統(tǒng)的顯微鏡及雙筒目鏡，控制器提供了圖像捕獲、測(cè)量以及對(duì)齊坐標(biāo)的記錄等功能，可以實(shí)現(xiàn)預(yù)對(duì)準(zhǔn)，這樣，用戶(hù)再通過(guò)操作手柄便能方便的進(jìn)行的對(duì)準(zhǔn)操作。

UV-KUB 2

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