TMC STACIS III主動隔振平臺系統(tǒng)，森泉光電

STACIS?III是先進的主動振動隔離系統(tǒng)。采用先進的慣性振動傳感器、復雜的控制算法和先進的壓電致動器，STACIS通過連續(xù)測量地板活動，擴大和收縮壓電致動器過濾地板振動來進行實時振動隔離。

起初被設計用于先進半導體工廠的精密顯微光刻、計量和檢測設備振動隔離， STACIS現(xiàn)在是嘈雜環(huán)境中敏感儀器的行業(yè)標準解決方案，它廣泛應用于半導體晶圓廠、失效分析實驗室、納米技術研究、納米加工設備和材料研究。

Stacis III包括一個新型改進的數(shù)字控制器—DC-2020。它搭載 zui 新 gao 效 的雙核處理器，前后面板上都配備以太網(wǎng)和USB串口，新型先進控制系統(tǒng)為用戶提供了一個現(xiàn)代的、易于使用的圖形用戶界面(GUI)。

Stacis III在世界各地有數(shù)百個成功安裝案例，對于大部分振動敏感儀器來說都是 zui 理想 的振動消除系統(tǒng)。

Stacis?III優(yōu)勢

STACIS相比于氣浮支腿更加堅固可靠，且不存在氣浮隔振系統(tǒng)離不開氣源的局限性。它無氣浮支撐，并且與主動的氣浮系統(tǒng)不同，STACIS可以放置在具有內(nèi)部主動空氣隔離系統(tǒng)的設備下面，且兩個隔振系統(tǒng)相互兼容。

設計有 du 特 的通信串口和專有high-force壓電技術導致其具有大的主動帶寬0.6赫茲到150赫茲，以及從2Hz開始主動振動消除性能可達到90%。

特點&優(yōu)點

• 從0.6Hz開始隔離振動，1Hz時可隔振40%到70%

• 2Hz時在高度、水平和垂直三個方向上提供超過90%的振動隔離

• 減少工廠地板鋪設成本，使設備能夠安裝在較強振動環(huán)境中

• 主動帶寬：0.6Hz到150Hz

• 設備制造商竭力推薦

• 六自由度活動硬性底座設計，無氣浮支撐

• 魯棒控制系統(tǒng)，不需要預先調(diào)適

• 可與設備內(nèi)置隔振系統(tǒng)兼容

• 當環(huán)境振動水平隨時間增加時，確保設備滿足自身的振動標準

• 利用TMC Stacis?技術通過壓電陶瓷致動器來消除振動

• 帶有基于計算機的圖形用戶界面(GUI)的數(shù)字控制器

• 在舊的、有噪音的地板上也可以安裝使用

• 兼容各種地板的高度和類型

• TMC關注Stacis III隔振性能，提供全面的售后服務

性能特性                                                                       DC-2020 控制器特點

隔離器尺寸、環(huán)境和設備使用要求

應用注釋

如下圖所示的45納米線寬測試模型圖是Amphibian Systems公司生產(chǎn)，安裝在德克薩斯州奧斯汀SEMATECH的先進浸沒式光刻系統(tǒng)測試模型。

設備一開始被安裝在由鋼制支撐結構支撐的鋼鐵混凝土基座（商用彈性體隔振墊）上，但是這臺基座沒有達到設備指定的振動標準，模型圖品質(zhì)較差。

把底座的支撐結構移走，用主動壓電振動消chu系統(tǒng)STACIS來進行改裝。將STACIS直接安裝在已有的底座下面。用STACIS來支撐設備顯著減少整體振動水平，以達到生產(chǎn)商的地面振動標準。更重要的是，STACIS顯著地改shan了模型品質(zhì)。

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