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    產(chǎn)品中心

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    iPHEMOS-DD倒置發(fā)射顯微鏡 C10506-05-16

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    產(chǎn)品特點(diǎn)


    倒置發(fā)射顯微鏡是一款背面分析系統(tǒng),用于偵測和識別半導(dǎo)體器件上的光發(fā)射和熱發(fā)射。 ?
    樣品可以輕松地安裝到探針卡上面實(shí)施點(diǎn)針,信號從器件背面?zhèn)蓽y。平臺下方可以選配多款不同種類的探測器和激光,使之完成多種探測方式。例如光發(fā)射和熱發(fā)射分析,近紅外-光束誘導(dǎo)電阻阻值變化分析,和一些其他的分析方式完成動態(tài)分析,滿足客戶需求。
    ?
    Iphemos-DD
    將樣品直接連接到測試機(jī)上,再把測試機(jī)架裝到設(shè)備上方能夠有效減少線纜長度,這使得高頻驅(qū)動樣品的分析成為可能,這種直接架裝方式可用于點(diǎn)針偵測12英寸晶片,也可用來偵測封裝好的樣品。 ?


    詳細(xì)介紹

    連接示例

    產(chǎn)品特征

    ● 可安裝用于光發(fā)射分析和熱分析的兩個(gè)超高靈敏度相機(jī)


    ● 可安裝最多3個(gè)波長的激光器和一個(gè)EOP探頭光源


    ● 配備適合不同樣品的光學(xué)工作臺


    ● 高靈敏度微距鏡頭和最多10個(gè)適合每個(gè)探測器靈敏度波長的鏡頭

    產(chǎn)品選配

    ● 激光掃描系統(tǒng)
    ● 高靈敏度近紅外相機(jī)進(jìn)行光發(fā)射分析
    ● 高靈敏度中紅外相機(jī)進(jìn)行熱分析
    ● 紅外-光致阻值改變(IR-OBIRCH)分析
    ● 激光輻射動態(tài)分析
    ● EO偵測分析
    ● 納米透鏡進(jìn)行高分辨率、高靈敏度分析?
    ● 連接到CAD導(dǎo)航
    ● 連接到LSI測試儀

    顯示功能

    疊加顯示/對比度增強(qiáng)功能

    iPHEMOS-DD將發(fā)光圖像疊加到高分辨率模板圖像上來快速定位缺陷點(diǎn)。對比度增強(qiáng)功能可使圖像更清晰,細(xì)節(jié)更多。


    顯示功能

    • ● 注釋
      ● 圖像的任何位置都可以顯示評論、箭頭等注釋符號。
    • ● 比例顯示
      ● 可使用分段,在圖像上顯示比例寬度。
    • ● 柵格顯示
      ● 圖像上可顯示水平和垂直柵格。
    • ● 縮略圖顯示
      ● 圖像可以以縮略圖的形式存儲和調(diào)用,stage坐標(biāo)等圖像信息也可顯示。
    • ● 分屏顯示
      ● 圖案影像、發(fā)射圖像、疊加圖像以及參考圖像可一次顯示在4個(gè)窗口的屏幕上。



    詳細(xì)參數(shù)
    線性電壓AC 200 V (50 Hz/60 Hz)
    功耗Approx. 1400 VA (Max. 3300 VA)
    真空Approx. 80 kPa or more
    氣壓0.5 MPa to 0.7 MPa
    尺寸/重量Main unit: 1980 mm (W)×1270 mm (D)×834 mm (H), Approx. 1700 kg
    Control rack: 880 mm (W)×700 mm (D)×1842 mm (H), Approx. 300 kg
    Optional desk: 1400 mm (W)×800 mm (D)×700 mm (H), Approx. 60 kg

    * iPHEMOS-MP主體機(jī)臺包括探針臺和其他相連接的裝置。

    相關(guān)下載

    Failure Analysis Systems Option: Emmi-X camera C8520-45 series (Near-infrared photo emission camera) [644 KB/PDF]

    Failure Analysis Systems Option: InSbHS camera C9985-05 [668 KB/PDF]

    Failure Analysis Systems Option: Thermal NanoLens [351 KB/PDF]

    Failure Analysis Systems Option: NanoLens-SHR [635 KB/PDF]

    C10506-04-16Failure Analysis Systems Option: Electro Optical Probing Unit [406 KB/PDF]

    技術(shù)資料

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