linseis TFA 薄膜激光導(dǎo)熱測(cè)量?jī)x

儀器特點(diǎn)

材料的熱物理性質(zhì)以及產(chǎn)品的傳熱優(yōu)化在工業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域變得越來越重要。

　 經(jīng)過幾十年的發(fā)展，閃射法已經(jīng)成為最常用的用于各種固體、粉末和液體熱導(dǎo)率、熱擴(kuò)散系數(shù)的測(cè)量方法。

薄膜熱物性在工業(yè)產(chǎn)品中正變得越來越重要，如：相變光盤介質(zhì)、熱電材料、發(fā)光二極管（LED ） ，相變存儲(chǔ)器、平板顯示器以及各種半導(dǎo)體。在這些工業(yè)領(lǐng)域中，特定功能沉積膜生長(zhǎng)在基底上以實(shí)現(xiàn)器件的特殊功能。由于薄膜的物理性質(zhì)與塊體材料不同，在許多應(yīng)用中需要專門測(cè)定薄膜的參數(shù)。

　 基于已實(shí)現(xiàn)的激光閃射技術(shù)，LINSEIS TF-LFA 薄膜激光導(dǎo)熱測(cè)量?jī)x(Laserflash for thin films)可以測(cè)量80nm20μm厚度薄膜的熱物理性質(zhì)。

1、瞬態(tài)熱反射法（后加熱前檢測(cè)（RF）） ：

由于薄膜材料的物理性質(zhì)與塊體材料顯著不同，必需要有相應(yīng)的技術(shù)來克服傳統(tǒng)激光閃射法的不足，即瞬態(tài)激光閃射法。

尺寸測(cè)量方法與傳統(tǒng)激光閃射法相同：檢測(cè)器和激光器在樣品兩側(cè)。考慮到紅外探測(cè)器測(cè)試薄膜太慢是，檢測(cè)是通過所謂的熱反射方法完成的。該技術(shù)的原理是材料在加熱時(shí)，表面反射的變化可用于推導(dǎo)出熱性能。測(cè)量反射率隨時(shí)間的變化，得到的數(shù)據(jù)代入包含的系數(shù)模型里面并快速計(jì)算出熱性能。

2、時(shí)域熱反射法（前加熱前檢測(cè)（FF） ） ：

時(shí)域熱反射技術(shù)是另一種測(cè)試薄層或薄膜熱性能（熱導(dǎo)率，熱擴(kuò)散率）的方法。測(cè)量方式的幾何構(gòu)造被稱為“前加熱前檢測(cè)（FF） ”，因?yàn)闄z測(cè)器和激光在樣品上的同一側(cè)。該方法可以應(yīng)用于非透明基板上的薄膜層，這種薄膜層不適合使用RF技術(shù)。

3、瞬態(tài)熱反射法（RF）和時(shí)域熱反射法（FF）相結(jié)合：

兩種方法可以集成在一個(gè)系統(tǒng)中并實(shí)現(xiàn)兩者優(yōu)點(diǎn)的結(jié)合。

技術(shù)參數(shù)