熱式氣體質(zhì)量流量控制獨立模塊

Axetris熱式氣體質(zhì)量流量計/控制器：

Axetris MFM/MFC 2000系列適用于OEM模塊集成的結(jié)構(gòu)極其緊湊的高性能氣體質(zhì)量流量計和控制器；
從用來測量單一氣體的結(jié)構(gòu)極其緊湊的氣體質(zhì)量流量計和控制器，到用來測量和控制多種氣體高度集成的定制閥組，Axetriszuixin的MFM / MFC 2000系列產(chǎn)品都能滿足這些需求。
技術優(yōu)點：

• 基于MEMS技術

• 極其緊湊的尺寸

• 高精度

• 快速響應時間

• 多種氣體/多量程

• 模塊化

• 的長期穩(wěn)定性

主要應用：

• 分析儀器

• 氣相色譜儀

• 泄漏檢測

• 單一或者多種氣體的計量和控制

• 標定和質(zhì)量控制

• 薄膜工藝控制