2000℃溫度可控型感應(yīng)加熱爐

高頻感應(yīng)加熱設(shè)備

（點擊圖片查看詳細(xì)資料）

• 工作電壓: ??三相380VAC?50Hz ??(需60A空氣開關(guān)）
• 輸入功率: ?25KW
• 震蕩頻率:?30?-?80?kHz?
• 循環(huán)比:?80%
• 感應(yīng)線圈:?150mm(OD)?x?140mm(ID)?x?90mm(H)?
• 保護(hù)系統(tǒng)：帶有自動水壓、過熱、功率過高保護(hù)
• 耐火材料：配有多塊采用氧化鋁制作的耐火材料，用于支撐石墨坩堝，和防止熱量輻射

溫度控制器&?熱電偶

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• 工作電壓:?208~240V?AC,?單相
• 采用PID方式控溫?，可設(shè)置30段升降溫程序
• 設(shè)備帶有過熱和斷偶保護(hù)功能
• 控溫精度：+/-?3?oC?
• 采用C型熱電偶,探頭伸入到石墨坩堝內(nèi)
• 長期使用溫度：1900oC
• 工作溫度：2000oC（＜5小時）
• 升溫速率:
  10oC/second?(1000oC-1200oC)
  8oC/second?(1200oC~1500oC)
  3oC~6oC/second?(1500oC~2000oC)

石墨坩堝和耐火磚

• 高純石墨坩堝:?50mm(OD)×40mm(ID)×110mm?,坩堝是用來感應(yīng)加熱和熔化金屬
• 容量：樣品所占容積應(yīng)該是石墨坩堝容積的1/2?
• 可選:為對晶片熱處理，可定制石墨樣品臺，可放置晶片尺寸為1.5''?O.D?x?1/8''?T，因為石墨導(dǎo)熱率非常高，所以可使放置的晶片受熱均勻?
  
• 保溫層：石墨坩堝外環(huán)繞三層隔熱材料，從里到外分別為石墨氈—氧化鋁—高溫氈，總厚度為32mm，石墨保溫毯（可耐溫2200℃）氧化鋁毯（耐溫1700℃）

密封法蘭與石英管

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• 頂部法蘭:?采用不銹鋼折疊式法蘭，帶有一1/4＂的鎧裝接口（可插入熱電偶到石英管內(nèi)部更準(zhǔn)確地測量樣品溫度）法蘭上安裝有不銹鋼截止閥

• 底部法蘭:底部法蘭接口為KF25接口，可通過波紋管與真空泵相連接。

• 石英管尺寸：130mm(OD)?x?122mm(ID)?x?360mm(L)
• 儀器中配有KF25擋板閥和KF25*1000mm的波紋管，以便與真空泵相連接
  

防腐型真空計（可選）

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當(dāng)氣壓在10mbar以上時，不需因測量氣體種類不同而進(jìn)行系數(shù)轉(zhuǎn)換，量程可到3.8x10E-5?torr

循環(huán)水冷機(jī)

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• 溫度范圍:?5?-?30°C
• 水流速：?16L/min
• 水箱容積:?12 Liters?采用不銹鋼制作
• 水壓≥0.1MPa，流量≥5L/Min
• 注:?本公司建議使用專用的冷卻液作為冷卻介質(zhì)

真空泵

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• 儀器中配有一2L/S的雙極旋片機(jī)械泵，使管內(nèi)的真空度達(dá)到10e-2?torr

• 工作電壓AC?208?-240V,?單相

移動爐架
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• 結(jié)構(gòu):?鋼框架結(jié)構(gòu)
• 800mm×600mm的移動爐架可方便移動電感應(yīng)加熱器和帶有法蘭的石英管

產(chǎn)品尺寸

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• 感應(yīng)加熱器:520mm?x?520mm?x?450mm
• 水冷機(jī)組:?460mm?x?475mm?x?762mm
• 移動爐架：?600mm(L)?x?800mm(W)?x?597mm(H)

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期，終身維護(hù)，不包括石英管、硅膠密封圈和石墨坩堝損耗件）

注意

• 為了保護(hù)石墨坩堝和C型熱電偶，要不斷通入惰性氣體
• 請點擊這里了解感應(yīng)加熱的原理
• 如果您對感應(yīng)加熱和熔煉的東西不了解，可以咨詢我們的工程師
• 此設(shè)備可改為RTP（快速熱處理爐）和混合物理化學(xué)氣相沉積（HPCVD）系統(tǒng)，請點擊下面的圖片查看，如您有任何特殊需求可聯(lián)系我們
  

凈重

120Kg