分享 收藏

百及納炫米ParcanNano電子束光刻機(jī)（多功能超高精度電子束光刻機(jī)P21）

品牌：德國ParcanNano
型號(hào)： P21
產(chǎn)地：歐洲德國
供應(yīng)商報(bào)價(jià)：面議

深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司更新時(shí)間：2025-04-27 09:57:23

銷售范圍售全國

入駐年限第7年

營業(yè)執(zhí)照已審核

同類產(chǎn)品ParcanNano百及納米針尖電子束光刻系統(tǒng)(5件)

立即掃碼咨詢

聯(lián)系方式：13538131258

聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說明在儀器網(wǎng)（www.vietnamtrade.org）上看到的!

掃碼分享

為您推薦

產(chǎn)品特點(diǎn)

電子束光刻機(jī)（多功能超高精度電子束光刻機(jī)P21)，樣品尺寸覆蓋 2/4/6 英寸晶圓，超高寫場拼接精度，電子束閉環(huán)控制系統(tǒng)，束流的時(shí)間及空間穩(wěn)定性高，高性能 30 kV 電子束光刻機(jī)。

詳細(xì)介紹

電子束光刻機(jī)（多功能超高精度電子束光刻機(jī)P21）

依托壟斷性專利技術(shù)，百及納米推出國際領(lǐng)先的超高精度大面積寫場電子束光刻機(jī) P21 系列。百及納米S次開發(fā)了新一代電子束光刻機(jī)的電子束閉環(huán)控制新原理。百及超高精度電子束光刻機(jī) P21 是第一款新一代電子束光刻機(jī)的代表，在著名電子束光刻機(jī)制造商德國 Raith 公司的成熟機(jī)型上升級(jí)而成。該系列主要包括 P21-2，P21-4 和 P21-6 三個(gè)型號(hào)，區(qū)別主要在于樣品尺寸（2，4，6 英寸晶圓）及擴(kuò)展使用功能。P21 不僅完整地保留了原電子束光刻機(jī)的整體功能，且集多項(xiàng)國際領(lǐng)先的關(guān) 鍵指標(biāo)于一身，包括：

? 國際上S次開發(fā)的新穎電子束閉環(huán)控制系統(tǒng)，能夠?qū)崿F(xiàn)電子束的原位檢測(cè)與校正;

? 國際領(lǐng)先的寫場拼接精度≤2 nm;

? 電子束光刻的長期穩(wěn)定性。精確校正電子束的空間漂移，將其位置穩(wěn)定性提高到≤10 nm/h；有利于通過提高電子束光刻時(shí)間實(shí)現(xiàn)大尺寸圖形的曝光需求。

百及納米的 P21 系列以常規(guī)電子束光刻機(jī)為載體，通過獨(dú) 家專利技術(shù)對(duì)其進(jìn)行功能及性能指標(biāo)的大幅提升。P21 光刻機(jī)組件均為德國原裝制造，以高品質(zhì)、高性能滿足客戶的科研高端需求，實(shí)現(xiàn)新一代超高精度電子束光刻功能。

1653146441(1).png