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美國SVT RF等離子源/射頻等離子源
- 品牌：SVT Associates
- 型號： 2.75
- 產(chǎn)地：美洲 美國
- 供應(yīng)商報價：面議
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美國SVTA公司中國辦事處
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銷售范圍售全國
入駐年限第10年
營業(yè)執(zhí)照
- 同類產(chǎn)品
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詳細介紹
美國SVT公司的RF等離子源適用于多個公司多種型號。
法蘭接口包括： 2.75''、4.5''、6''。
等離子源用于離解雙原子氮、氧和氫。離解過程中不會產(chǎn)生高能離子。
產(chǎn)生的束流含有零離子，有助于生長高質(zhì)量的薄膜，也可以在不損傷襯底表面的情況下清洗襯底。
高生長率等離子體源能夠在生長速率大于4μm/hr的情況下生長高質(zhì)量的薄膜。
光闌和等離子腔形狀可以顧客定制，以滿足客戶對不同流量的需求。
軟件作為可選項，能夠?qū)崿F(xiàn)自動操作，允許用戶保存數(shù)據(jù)，編寫工藝程序。
特點
可提供N2、O2、H2等離子源
生長速率大于4μm/hr
源設(shè)計有等離子體觀察窗口
光闌和等離子腔形狀可以客戶定制
RF自動調(diào)節(jié)可選
RF 功率
200-600W
氣體流量
0.1-10SCCM
法蘭
4.50’’ CF
源直徑
2.35’’
水冷卻
0.17GPM 流量(0.227m3/hr)
RF匹配網(wǎng)絡(luò)
手動調(diào)節(jié)(自動調(diào)節(jié)可選)
等離子腔
PBN，氧化鋁，石英
技術(shù)資料
滬公網(wǎng)安備 31011502008050號