EQP等離子體質(zhì)量和能量分析質(zhì)譜儀

儀器簡介：
HidenEQP是一臺(tái)結(jié)合質(zhì)量和能量分析的儀器（MassandEnergyAnalyserforPlasmaDiagnostics），用于分析等離子過程中陰、陽離子、中性粒子以及自由基。


技術(shù)參數(shù)：
應(yīng)用：

蝕刻 / 沉積作用研究
離子植入 / 激光燒蝕
殘余氣體分析 / 泄漏檢測
等離子體電感耦合，即在操作中遵從電極設(shè)定條件
通過視口、接地電極和驅(qū)動(dòng)電極進(jìn)行分析


主要特點(diǎn)：
軟件控制的離子汲取光學(xué)系統(tǒng)，以使等離子體擾動(dòng)最小
45°靜電扇區(qū)分析器，掃描能量增量 0.05 eV / 0.25eV FWHM
所有能量范圍內(nèi)，離子行程的最小擾動(dòng)，及恒定離子傳輸
帶差式泵的三級(jí)過濾四極桿，質(zhì)量數(shù)范圍至2500amu
高靈敏度 / 穩(wěn)定的脈沖離子計(jì)數(shù)檢測器，有7個(gè)數(shù)量級(jí)的動(dòng)態(tài)范圍
可調(diào)諧的離子源，用于電子附著選件的表觀電勢質(zhì)譜分析
Penning規(guī)和互鎖裝置可提供過壓保護(hù)
信號(hào)選通分辨率1μs，用于研究脈沖等離子體或能量、質(zhì)量分布隨時(shí)間的變化
1000eV 選配, 漂浮電壓可選至10keV, Faraday 杯用于高密度等離子體
Mu-Metal, Radio-metal 屏蔽可選,高壓操作可選
通過RS232、RS485或Ethernet LAN，控制軟件MASsoft