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Logitech Tribo臺(tái)式化學(xué)機(jī)械研磨拋光設(shè)備

品牌：logitech
型號(hào)： Tribo
產(chǎn)地：歐洲英國(guó)
供應(yīng)商報(bào)價(jià)：面議

北京華沛智同科技發(fā)展有限公司

銷(xiāo)售范圍售全國(guó)

入駐年限第10年

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詳細(xì)介紹

CMP Tribo 臺(tái)式化學(xué)機(jī)械研磨拋光設(shè)備簡(jiǎn)介：
Logitech的Tribo CMP是一個(gè)高質(zhì)量臺(tái)式CMP設(shè)備，能理想的用于主要目的是進(jìn)行中試生產(chǎn)測(cè)試的R&D環(huán)境（這種中試測(cè)試過(guò)去常常需要用到昂貴的生產(chǎn)型設(shè)備）。Tribo屬于小型設(shè)備,占地面積小但功能強(qiáng)大,可用性強(qiáng),并提供更大的生產(chǎn)量。這使得Tribo CMP系統(tǒng)能wan美的用于制造和開(kāi)發(fā)生產(chǎn)環(huán)境下的CMP工藝。

典型應(yīng)用

CMP被廣泛應(yīng)用于后端IC制造，它做為一種可實(shí)現(xiàn)的技術(shù)也容易適用于試生產(chǎn)測(cè)試、MEMS制造，特別是多晶硅表面顯微機(jī)械加工、Opto-MEMS 和 Bio-MEMS 封裝、裝配甚至制造。

Logitech的Tribo CMP是一個(gè)高質(zhì)量立式CMP設(shè)備，應(yīng)用在進(jìn)行中試生產(chǎn)測(cè)試的R&D環(huán)境最為理想，過(guò)去這種中試測(cè)試通常非常耗時(shí)而且昂貴。Tribo新的特性及功能，包括先進(jìn)的傳感器陣列、更高的使用性和容量，可以對(duì)更現(xiàn)實(shí)的生產(chǎn)環(huán)境進(jìn)行復(fù)制，使得Tribo CMP系統(tǒng)能wan美的適用于晶圓制造廠和其它大規(guī)模生產(chǎn)的公司。

CMP Tribo 臺(tái)式化學(xué)機(jī)械研磨拋光設(shè)備特點(diǎn)：

超輕組件像化學(xué)防腐拋光盤(pán)和拋光頭可以確保系統(tǒng)完全由一人來(lái)操作。另外，它所占空間較小可方便安裝在任何標(biāo)準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室內(nèi)。Tribo的設(shè)計(jì)使得操作系統(tǒng)更靈活，具備以下特點(diǎn):
雙容量/生產(chǎn)能力（2 x 4"晶圓）
完全由操作者控制修整器擺動(dòng)速度和幅度
多種傳感器備選，可在購(gòu)買(mǎi)時(shí)選擇或做為日后升級(jí)用
一起使用修整器和拋光頭來(lái)增加工藝性能