高分辨輝光放電質(zhì)譜儀 Autoconcept GD90

Autoconcept GD90是一個專為高精度元素分析所設(shè)計的高分辨輝光放電質(zhì)譜儀。此輝光放電質(zhì)譜儀（GDMS）提供了固體金屬與絕緣體的直接分析檢測。它具有非常寬的元素覆蓋范圍，可得到超過70種元素的有效數(shù)據(jù)，靈敏度高，輕元素重元素均可。

GDMS技術(shù)使原子化（碎片化）過程與離子化過程分開進(jìn)行，故而可容易的對ppb至ppt級別的痕量雜質(zhì)進(jìn)行測量。此法還使得GDMS技術(shù)擁有最小的基體效應(yīng)且無須特定參照材料。它可對金屬與合金進(jìn)行全掃描分析，可對半導(dǎo)體進(jìn)行大量的測量分析，可對多層結(jié)構(gòu)與鍍層進(jìn)行深度剖析。是包括金屬、合金、半導(dǎo)體以及絕緣體（須配RF源）等高純材料的生產(chǎn)與質(zhì)量控制的理想工具。

主要特性：

高分辨率，特別是對于有干擾離子存在的測定而言十分重要。

廣泛的元素涵蓋范圍，軟件中包括70個元素相關(guān)的干擾離子數(shù)據(jù)。

由于原子化和離子化過程發(fā)生在不同區(qū)域，帶來可忽略的基體效應(yīng)。

低至亞ppb級的定量數(shù)據(jù)。

具有深度剖面同位素比值分析能力。

最少的樣品制備過程。