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中小型多功能等離子體清洗機PLUTO-30

品牌：上海PLUTOVAC
型號： PLUTO-30
產(chǎn)地：上海浦東新區(qū)
供應商報價：面議

上海沛沅儀器設備有限公司更新時間：2025-02-17 10:28:10

銷售范圍售全國

入駐年限第7年

營業(yè)執(zhí)照已審核

同類產(chǎn)品等離子清洗機(4件)

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中小型多功能等離子體清洗機PLUTO-30 核心參數(shù)

樣品腔尺寸	300W x 280H x 366Dmm	樣品腔容積	30L
射頻功率	300W/500W	頻率	13.56MHz

產(chǎn)品特點

ZL氣體輸送系統(tǒng)，提供氣體分配均勻性和靈活的氣體分配方法
不同工藝模式（RIE、下游等離子體等）的柔性電極配置
獨特的射頻系統(tǒng)提供zhuo越的工藝重復性和處理效率
全自動處理能力
圖形用戶界面支持配方編輯器、配方驅(qū)動流程并提供實時流程信息
臺式設計需要較小的占地面積

詳細介紹

中小型多功能等離子體清洗機PLUTO-30

中小型量產(chǎn)級多功能

Pluto30是專為研發(fā)而設計的全功能等離子體系統(tǒng)，13.56MHz射頻發(fā)生器和自動匹配網(wǎng)絡電源在整個過程區(qū)域產(chǎn)生均勻的等離子體。Pluto 30的真空腔可支持多達7個可調(diào)節(jié)樣品架，以容納各種形狀尺寸的樣品。Pluto30具有多種電極設置，可配置成RIE和PECVD模式，從而擴大了該系統(tǒng)的應用范圍，提供給用戶無與倫比的靈活性。

Pluto30參數(shù)
腔體	腔體尺寸	300W x 280H x 366Dmm
	容量	30L
	電極數(shù)量	最多可達7層
電極	電極間隙	48mm
	功率電極尺寸	226W x 210D mm
	接地電極尺寸	260W x 210D mm
射頻系統(tǒng)	射頻功率和頻率	300W/13.56MHz
氣體控制	MFC控制器	標配1個MFC，最多4個MFC控制器
系統(tǒng)控制	7寸工業(yè)觸控屏	全數(shù)字控制，實時顯示工作狀況，可設定操作權(quán)限和各種報警值，可儲存工藝方案
真空泵系統(tǒng)	油泵	32m3/h
真空泵系統(tǒng)	功率	220V/10A，50Hz，單相，3線
尺寸	外形尺寸	706W x 804D x 735H mm
特別裝置需求	工藝氣體	0.25英寸. 氣管快接.適用于 15-20psig;
	凈化氣	0.25英寸. 氣管快接. 適用于10-100psig
	CDA	0.25英寸. 氣管快接. 適用于60-90psig
	排氣接口	KF40
可選項	液體前驅(qū)體輸送系統(tǒng)
	500W/13.56MHz射頻系統(tǒng)
	37m3/h 干泵
	排氣洗滌器
	油霧消除器