日本Union精密厚度測量顯微鏡

一個微觀厚度測量領(lǐng)域的顛覆性產(chǎn)品。已經(jīng)廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體晶圓的納米測量以及電池防爆片領(lǐng)域；設(shè)備能夠快速定位、智能編程、快速測量；在刻痕一圈取盡量多任意數(shù)量的點，進行快速自動化測量。數(shù)據(jù)更具科學(xué)性。編程后可zui多一次放在15個樣品進行批量自動化測量，獲取更多批量樣品的平均值，數(shù)據(jù)額更具代表性。

EPS防爆片刻痕深度測量儀技術(shù)規(guī)格書

一、產(chǎn)品介紹：

EPS-2T刻痕測厚儀是一款微觀測厚領(lǐng)域的顛覆性產(chǎn)品，采用白光光譜技術(shù)精 準(zhǔn)定位獲得樣品表面信息，通過上下同心鏡頭對被測點的絕 對位置，zui終獲得精 準(zhǔn)測量數(shù)據(jù)；設(shè)備同時還具備宏觀成像導(dǎo)航功能，根據(jù)實時圖像任意選擇被測量，為光譜鏡頭提供導(dǎo)航及坐標(biāo)定位。

EPS-2T特點：其是一個微觀厚度測量領(lǐng)域的顛覆性產(chǎn)品。已經(jīng)廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體晶圓的納米測量以及電池防爆片領(lǐng)域；設(shè)備能夠快速定位、智能編程、快速測量；在刻痕一圈取盡量多任意數(shù)量的點，進行快速自動化測量。數(shù)據(jù)更具科學(xué)性。編程后可zui多一次放在15個樣品進行批量自動化測量，獲取更多批量樣品的平均值，數(shù)據(jù)額更具代表性。

產(chǎn)品能力：

可實現(xiàn)對樣品的多點掃描或線掃描及陣列掃描，一次性數(shù)據(jù)采集后通過專業(yè)光譜影像復(fù)合軟件計算， 實時對厚度測量判定；

本光譜測頭系統(tǒng), 完全非接觸式測量，保護工件免受劃痕；

全花崗石結(jié)構(gòu)設(shè)計，高精度花崗石底座，立柱，保證機器的長期穩(wěn)定性；

精密絲杠傳動，高速，無間隙，靈敏可靠，定位準(zhǔn)確，運動精度高；

?？?nbsp;高分辨率 CCD，高清晰度的影像效果，保證測量時高品質(zhì)的畫面；

伺服閉環(huán)控制,鼠標(biāo)或搖桿操控，全自動 CNC 功能： 自動對焦， 自動量測， 自動尋邊，

自動燈光調(diào)整，保證測量高效率。

專 利多重空間燈光照明系統(tǒng)：在面對某些特殊被測量物時，利用不同光線效果，

能更精 準(zhǔn)地抓取產(chǎn)品尺寸，達到上光源精 準(zhǔn)測量時的高重復(fù)精度.

二、技術(shù)參數(shù)：

三、測試原理：

EPS-2T是一款高性能復(fù)合式雙激光全自動測厚儀，采用亞納米級白光光譜對焦原理，對被測樣品進行上下面同心高精度對焦，來獲取精確的樣品厚度。

測試方法：

EPS-2T通過光學(xué)圖像導(dǎo)航系統(tǒng)進行光學(xué)成像、圖像導(dǎo)航、坐標(biāo)定位、軟件編程、設(shè)定測試點位/數(shù)量。白光雙鏡頭通過定位進行快速自動化測量形成厚度數(shù)據(jù)。

四、儀器結(jié)構(gòu)：

五、儀器測量方法機器結(jié)構(gòu)介紹

結(jié)構(gòu)介紹：設(shè)備主體結(jié)構(gòu)平臺、Z軸支架均有大理石制成，是實現(xiàn)設(shè)備高精度/重復(fù)性的保證。設(shè)備主題有一組配置上下LED光源及同軸光光源的光學(xué)自動變倍鏡頭、上下同心雙光譜鏡頭組成，XY自動掃描臺、Z自動變焦、高清CCD集合而成的一套高精度光學(xué)系統(tǒng)。

測試方法：

光學(xué)鏡頭A進行圖像識別、設(shè)定測試點位、編程被測點的坐標(biāo)。
白光光譜鏡頭B/B1雙鏡頭，通過光學(xué)鏡頭導(dǎo)航點位進行全自動測量！

測試方法：

 方法一、導(dǎo)入防爆片產(chǎn)品圖紙，確定測試位置坐標(biāo)，光譜鏡頭根據(jù)坐標(biāo)定位找點，上下鏡頭對接，自動測量、通過XY軸自動移動，實現(xiàn)批量測。

 方法二、無圖紙測量：對治具上的防爆片進行圖像實時成像，選取需要測試的點群，上下鏡頭對接，自動測量、通過XY軸自動移動，實現(xiàn)批量測。

產(chǎn)品優(yōu)勢說明：

行業(yè)痛點：防爆片測量受限于目前傳統(tǒng)測量設(shè)備的精度、效率、人為干擾等因素影響，無法對單一刻痕深度進行多點測量（一般只選擇10-40個點之間）。所以這些很微觀的點代表整個樣品的刻痕深度并不科學(xué)。更無法對多個樣品進行快速批量檢測。zui終導(dǎo)致:抽樣量數(shù)量不夠科學(xué)。單樣測試數(shù)據(jù)不夠科學(xué)。

EPS-2T特點：其是一個微觀厚度測量領(lǐng)域的顛覆性產(chǎn)品。已經(jīng)廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體晶圓的納米測量以及電池防爆片領(lǐng)域；設(shè)備能夠快速定位、智能編程、快速測量；在刻痕一圈取盡量多任意數(shù)量的點，進行快速自動化測量。數(shù)據(jù)更具科學(xué)性。編程后可zui多一次放在15個樣品進行批量自動化測量，獲取更多批量樣品的平均值，數(shù)據(jù)額更具代表性。

六、儀器的維護與保養(yǎng)：

是一種光、電、機一體化的精密測量儀器，需要有經(jīng)常和良好的維護與保養(yǎng)，以保 持儀器良好的使用狀態(tài)，這樣才可以保持儀器原有的精度和延長儀器的使和壽命。

1、儀器應(yīng)放在清潔干燥的室內(nèi) (室溫 20℃±5℃，濕度低于 60%) ，避免光學(xué)零件表面污損，金 屬零件生銹，塵埃雜物落入運動導(dǎo)軌，影響儀器機能。

2、儀器使用完畢，工作面應(yīng)隨時擦拭干凈，zui好再罩上防塵套。

3、儀器的傳動機構(gòu)及運動導(dǎo)軌，應(yīng)定期加潤滑油，使機構(gòu)運動順暢，保持良好的使用狀態(tài)。

4、工作臺玻璃及油漆表面臟了，可以用中性清潔劑與清水擦拭干凈，絕不能用有機溶劑擦拭油漆 表面，否則，會使油漆表面失去光澤。

5、儀器 LED 光源使用壽命很長，但當(dāng)有燈泡燒壞時，仍請通知廠商，由專業(yè)人員為您更換。

6、光譜鏡頭在工作過程中均為靜態(tài)，非人為/外力因素不會損壞。

6、儀器精密部件，如影像系統(tǒng)、工作臺、光學(xué)尺以及 Z 軸傳動機構(gòu)等均需精密調(diào)校，所有調(diào)節(jié)螺 絲與緊固螺絲均已固定，客戶請勿自拆卸，如有問題請通知廠商解決， 自行拆卸造成儀器故障或 精度降低，不在保修范圍內(nèi)。

7、計算機上測量軟件，已對工作臺與光學(xué)尺的誤差進行了精確補償，請勿自行更改，否則，會產(chǎn) 生錯誤的測量結(jié)果。

8、儀器所有電氣接插件、一般不要拔下，如已拔掉，則必須按標(biāo)記正確插回并擰緊螺絲，不正確 的接插，輕則影響儀器功能，重則可能損壞系統(tǒng)。

9、儀器要接地，機座后面電源接口板有標(biāo)識，且要求儀器使用方，電源插座要有地線

七、儀器成品圖：

八、產(chǎn)品驗收流程

1儀器交貨期：10天

2驗收條款：

外觀良好、儀器正常運行、按原廠技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)驗收

九、安裝調(diào)試和培訓(xùn)

安裝調(diào)試：客戶指定地點到貨后，三日內(nèi)安排工程師現(xiàn)場拆箱，按照相應(yīng)程序驗收和安裝調(diào)試產(chǎn)品。設(shè)備安裝調(diào)試后三日內(nèi)，根據(jù)確定的人數(shù)在客戶所在單位對所供產(chǎn)品設(shè)備提供詳細的培訓(xùn)課程，內(nèi)容包括相應(yīng)試驗標(biāo)準(zhǔn)、設(shè)備原理、設(shè)備要點、設(shè)備操作和設(shè)備日常維護。

十、質(zhì)量保證和售后服務(wù)

質(zhì)量保證：提供的是原廠生產(chǎn)的產(chǎn)品，符合國家、行業(yè)的質(zhì)量檢測標(biāo)準(zhǔn)，具有正規(guī)的質(zhì)量保證書或者合格證。

免費質(zhì)保期：我司對售后產(chǎn)品提供一年保質(zhì)期（易損壞件和消耗性用品除外，自安裝驗收合格之日起一年內(nèi)），在保質(zhì)期內(nèi)如非人為因素損壞，我司將提供免費維修或免費更換配件。 

響應(yīng)：我方在接到用戶故障通知后8小時內(nèi)響應(yīng)，在用戶不能自行維修的情況下，48小時內(nèi)我方維修工程師到用戶現(xiàn)場維修。

保修期滿之后，賣方對設(shè)備的維修僅收取工時和交通費用，涉及設(shè)備相關(guān)配件的更換和購買，賣 方僅收取成本費用。

維修站點：FLIR廠家上海辦事處負責(zé)保修和維修服務(wù)。