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    美國(guó)Lake Shore TTPX桌面式低溫探針臺(tái)

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    產(chǎn)品特點(diǎn)

    Lake Shore的TTPX探針臺(tái)是一款經(jīng)濟(jì)的、入門(mén)級(jí)的探針臺(tái),能夠進(jìn)行各種非破壞性的標(biāo)準(zhǔn)電子器件測(cè)量。緊湊的桌面設(shè)計(jì)非常適合學(xué)術(shù)和實(shí)驗(yàn)室研究環(huán)境。

    詳細(xì)介紹

    產(chǎn)品介紹:

    Lake Shore的TTPX探針臺(tái)是一款經(jīng)濟(jì)的、入門(mén)級(jí)的探針臺(tái),能夠進(jìn)行各種非破壞性的標(biāo)準(zhǔn)電子器件測(cè)量。緊湊的桌面設(shè)計(jì)非常適合學(xué)術(shù)和實(shí)驗(yàn)室研究環(huán)境。

     

    TTPX探針臺(tái)通過(guò)使用液氦或液氮的連續(xù)流制冷系統(tǒng)提供高效的低溫操作和控制,系統(tǒng)在4.2 K至475 K的溫度范圍內(nèi)運(yùn)行,可擴(kuò)展低至3.2 K或高至20 K~675 K的范圍。該系統(tǒng)可容納直徑達(dá)51 mm(2英寸)的完整和部分晶圓片。各種探針、測(cè)試電纜、樣品支架和選件使其能夠滿足多種特定的測(cè)量應(yīng)用。

     

    TTPX探針臺(tái)是Lake Shore為光電材料表征而設(shè)計(jì)的高端產(chǎn)品,它具有背面光學(xué)接入選件和兼容的光學(xué)樣品座。I-V、C-V和微波測(cè)量是TTPX的標(biāo)準(zhǔn)選件。TTPX的多功能性和經(jīng)濟(jì)性使其成為世界各地許多研究人員的首 選工具。


    主要特征

    √  溫度范圍4.3 K~475 K

    √  可選低溫3.2 K,可選高溫675 K

    √  標(biāo)準(zhǔn)2英寸(51 mm)樣品

    √  緊湊型桌面設(shè)計(jì)

    √  樣品振動(dòng)<30 nm可選

    √  環(huán)形磁體選件最 大0.19T

    √  允許樣品背光接入


    主要參數(shù)及描述

    溫度范圍


    安裝2個(gè)探針臂

    基礎(chǔ)溫度4.3 K,控制范圍4.4 K ~ 475 K

    安裝4個(gè)探針臂

    基礎(chǔ)溫度4.325 K,控制范圍4.4 K ~ 475 K

    安裝6個(gè)探針臂

    基礎(chǔ)溫度4.35 K,控制范圍4.4 K ~ 475 K

    安裝PS-LT低溫選件

    基礎(chǔ)溫度3.2 K,控制范圍3.3 K ~ 475 K

    安裝PS-HTSTAGE高溫選件

    基礎(chǔ)溫度20 K,控制范圍20 K ~ 675 K

    溫度穩(wěn)定性

    液氦

    液氮

    基礎(chǔ)溫度 (無(wú)加熱控制)

    ±15 mK

    ±20 mK

    <10 K

    ±50 mK

    10 K ~ 100 K

    ±20 mK

    ±50 mK

    101 K ~ 250 K

    ±15 mK

    ±50 mK

    251 K ~ 350 K

    ±15 mK

    ±100 mK

    351 K ~ 675 K

    ±50 mK

    ±100 mK

    真空

    以TPS-FRG分子泵組為標(biāo)準(zhǔn)

    抽真空時(shí)間

    15 min (<1 × 10-3 Torr)

    室溫

    <5 × 10-4 Torr

    基礎(chǔ)溫度

    <1 × 10-5 Torr

    最 高溫度

    <5 × 10-3 Torr

    循環(huán)時(shí)間


    總循環(huán)

    2 h

    抽真空

    15 min

    探針臺(tái)冷卻

    45 min

    探針臺(tái)升溫

    60 min

    樣品


    最 大尺寸

    51 mm(2英寸)標(biāo)準(zhǔn)

    樣品背光接口

    5 mm (0.2 in) 直徑

    樣品旋轉(zhuǎn)

    無(wú)

    樣品振動(dòng)

    <300 nm標(biāo)準(zhǔn),<30 nm選配PS-PVIS減震選件

    探針配置


    最 大探針數(shù)

    6

    探針臂溫度計(jì)

    用于監(jiān)視探針臂的溫度

    冷卻探針支架

    <35 K(樣品在基礎(chǔ)溫度下)

    探針支架

    連接樣品臺(tái)熱沉

    探針臂支架

    連接防輻射屏熱沉

    DC/RF探針

    電絕緣>100GΩ用于低漏電流測(cè)量

    微波探針

    頻率范圍從DC到67GHz

    光纖探針

    可用于電光測(cè)量

    落針?lè)秶?/p>

    所有探針均可在直徑為25.4 毫米(1 英寸)的圓內(nèi)落針


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