KLA高精度臺(tái)階儀Alpha-Step D-600

Alpha-Step高精度臺(tái)階儀/輪廓儀D-600 包括一個(gè) 200 毫米電動(dòng)載物臺(tái)，具有 150 x 178 毫米 X-Y 運(yùn)動(dòng)范圍。 新的測(cè)序軟件具有手動(dòng)糾偏對(duì)齊和對(duì)樣本多達(dá) 1000 個(gè)位置的編程功能。 該系統(tǒng)具有先進(jìn)的光學(xué)元件、具有 4 倍數(shù)碼變焦的高分辨率 500萬像素相機(jī)和增強(qiáng)的視頻控制功能，可實(shí)現(xiàn)高度通用的樣品可視化。

一、功能  

設(shè)備特點(diǎn)  

電動(dòng)載物臺(tái)  

臺(tái)階高度：幾納米至1200μm  

低觸力：0.03至15mg  

視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像頭  

梯形失真校正：消除側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)引起的失真  

圓弧校正：消除由于探針的弧形運(yùn)動(dòng)引起的誤差  

緊湊尺寸：小占地面積的臺(tái)式探針式輪廓儀  

軟件：用戶友好的軟件界面  

主要應(yīng)用  

臺(tái)階高度：2D臺(tái)階高度和3D臺(tái)階高度  

紋理：2D粗糙度和波紋度  

形式：2D翹曲和形狀  

應(yīng)力：2D薄膜應(yīng)力  

應(yīng)用領(lǐng)域  

大學(xué)，研究實(shí)驗(yàn)室和研究所  

半導(dǎo)體和復(fù)合半導(dǎo)體  

SIMS：二次離子質(zhì)譜  

LED：發(fā)光二極管  

太陽能  

MEMS：微電子機(jī)械系統(tǒng)  

汽車  

醫(yī)療設(shè)備  

二、應(yīng)用  

臺(tái)階高度  

Alpha-StepD-600探針式輪廓儀能夠測(cè)量從幾個(gè)納米到1200μm的2D和3D臺(tái)階高度。這使其可以量化在蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP和其他工藝期間沉積或去除的材料。Alpha-Step系列具有低觸力功能，可以測(cè)量如光刻膠的軟性材料。

3D 掃描和 2D 應(yīng)力（可選配功能）

Alpha-Step高精度臺(tái)階儀/輪廓儀3D 掃描產(chǎn)生照片般逼真的表面，可對(duì)臺(tái)階高度、紋理和樣品形狀進(jìn)行詳細(xì)的表面形貌分析。 2D 應(yīng)力利用 Stoney 方程和樣品弓在處理前后的變化來計(jì)算薄膜應(yīng)力。

復(fù)雜表面的3D掃描

紋理：粗糙度和波紋度

Alpha-Step D-600測(cè)量2D和3D紋理，量化樣品的粗糙度和波紋度。 軟件過濾功能將測(cè)量值分離為粗糙度和波紋度的部分，并計(jì)算諸如均方根（RMS）粗糙度之類的參數(shù)。

外形：翹曲和形狀

Alpha-Step D-600可以測(cè)量表面的2D形狀或翹曲。這包括對(duì)晶圓翹曲的測(cè)量，例如在半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中，多層沉積層結(jié)構(gòu)中層間不匹配是導(dǎo)致這類翹曲產(chǎn)生的原因。 Alpha-Step還可以量化包括透鏡在內(nèi)的結(jié)構(gòu)高度和曲率半徑。

應(yīng)力：2D薄膜應(yīng)力

Alpha-Step D-600能夠測(cè)量在生產(chǎn)包含多個(gè)工藝層的半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件期間所產(chǎn)生的應(yīng)力。使用應(yīng)力卡盤將樣品支撐在中性位置精確測(cè)量樣品翹曲。 然后通過應(yīng)用Stoney方程，利用諸如薄膜沉積工藝的形狀變化來計(jì)算應(yīng)力。