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日立 HF5000 球差場發(fā)射透射電子顯微鏡TEM
- 品牌：日立
- 型號(hào)： HF5000
- 產(chǎn)地：亞洲 日本
- 供應(yīng)商報(bào)價(jià)：￥5000000
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上海愛儀通網(wǎng)絡(luò)科技有限公司
更新時(shí)間：2025-05-30 09:32:31 -
銷售范圍售全國
入駐年限第4年
營業(yè)執(zhí)照已審核
- 同類產(chǎn)品TEM 透射電子顯微鏡(11件)
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詳細(xì)介紹
200 kV相差校正TEM/STEM，平衡了空間分辨率和傾斜、分析性能
通過單極片實(shí)現(xiàn)0.078 nm的STEM空間分辨率和高樣品傾斜度、高立體角EDX。
透射電子顯微鏡除了延續(xù)了日立公司配備的具有掃描透射電子顯微鏡“HD-2700”的球面像差校正器的功能、自動(dòng)校正功能，像差校正后的SEM圖像和對(duì)稱Dual SDD技術(shù)等特點(diǎn)。還融匯了透射電子顯微鏡HF系列中所積累的技術(shù)。
對(duì)于包括高端用戶在內(nèi)的廣泛用戶，我們提供亞?級(jí)空間分辨率和高分析性能以及更多樣化的觀察和分析方法。特點(diǎn)
標(biāo)配日立生產(chǎn)的照射系統(tǒng)球差校正器（附自動(dòng)校正功能）
搭載具有高輝度、高穩(wěn)定性的冷場FE電子槍
鏡體和電源等的高穩(wěn)定性使機(jī)體的性能大幅度提升
觀察像差校正SEM/STEM圖像的同時(shí)觀察原子分辨率SE圖像
采用側(cè)面放入樣品的新型樣品臺(tái)結(jié)構(gòu)以及樣品桿
支持高立體角EDX*的對(duì)稱配置（對(duì)稱Dual SDD*）
采用全新構(gòu)造的機(jī)體外殼蓋
配備日立生產(chǎn)的高性能樣品桿*
高輝度冷場FE電子槍×高穩(wěn)定性×日立制球面像差校正器
以長年積累起來的高輝度冷場FE電子源技術(shù)為基礎(chǔ)，進(jìn)行優(yōu)化，進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)電子槍的高度穩(wěn)定性。
此外，還更新了鏡體，電源系統(tǒng)和樣品臺(tái)，以支持觀察亞?圖像，并提升了機(jī)械和電氣穩(wěn)定性，然后與日立公司的球差校正器結(jié)合使用。
不僅可以穩(wěn)定地獲得更高亮度更精密的探頭，而且自動(dòng)像差校正功能可以實(shí)現(xiàn)快速校正，從而易于發(fā)揮設(shè)備的固有性能。使像差校正可以更實(shí)用。
Si（211）單晶體HAADF-STEM圖像（左）和圖像強(qiáng)度曲線分布（右下）、FFT功率譜（右上）
支持高立體角EDX*的對(duì)稱Dual SDD*
支持雙重配置100 mm2 SDD檢測器，以實(shí)現(xiàn)更高的靈敏度和處理能力進(jìn)行EDX元素分析。
由于第二檢測器位于DI 一檢測器的對(duì)面位置，因此，幾乎不會(huì)因?yàn)闃悠穬A斜，導(dǎo)致X射線中的信號(hào)檢測量發(fā)生變化。所以，即使是結(jié)晶性樣品，也不用顧忌信號(hào)量，可完全按照樣品的方向與位置進(jìn)行元素分析。
此外，對(duì)于電子束敏感樣品、低X光輻射量的樣品，除了原子列映射，在低倍、廣視野的高精細(xì)映射等領(lǐng)域也極為有效。
GaAs（110）的原子柱EDX映射
像差校正SEM圖像/STEM圖像 同時(shí)觀察
配有標(biāo)配二次電子檢測器，可同時(shí)觀察像差校正SEM/STEM圖像。通過同時(shí)觀察樣品的表面和內(nèi)部結(jié)構(gòu)，可以掌握樣品的三維構(gòu)造。
在像差校正SEM圖像中，除了可以通過校正球差來提高分辨率之外，還可以獲取更真實(shí)地樣品表面圖像。
主要規(guī)格
項(xiàng)目 內(nèi)容 電子源 W（310）冷陰極場發(fā)射型 加速電壓 200 kV、60 kV*1 圖像分辨率 STEM 0.078 nm（ADF-STEM圖像） TEM 0.102 nm（晶格像） 倍率 STEM ×20～×8,000,000 TEM ×100～×1,500,000 樣品微動(dòng) 樣品臺(tái) 偏心測角儀（Eucentric Goniometer）5軸樣品臺(tái) 樣品尺寸 3 mm Φ 移動(dòng)范圍 X, Y＝±1.0 mm，Z=±0.4 mm 樣品傾斜 α＝±25°、β＝±35°（日立2軸傾斜樣品桿*1） 像差校正器 配有日立照射系統(tǒng)球面像差校正器（標(biāo)配） 圖像顯示 PC Windows? 7 *2 顯示器 27英寸寬屏液晶顯示器（機(jī)體控制顯示器、第二顯示器*1） 攝像頭 標(biāo)配伸縮式攝像頭
屏幕攝像頭*1（用于熒光板觀察）機(jī)體尺寸/重量
項(xiàng)目 寬度×進(jìn)深×高度（mm） 重量（kg） 鏡體（含電子槍） 1,060×1,742×2,970 1,940 機(jī)體外殼蓋 1,678×1,970×3,157 429 操作臺(tái) 1,400×819×740 132 擴(kuò)展操作臺(tái)*1 580×819×740 53 FE槽 1,041×840×1,317 482 V0槽 398×630×1,046 164 控制電源 1,400×693×816 173 像差校正器電源 606×529×1,096 81 排氣系統(tǒng)電源 913×663×1,790 378 轉(zhuǎn)向系統(tǒng)電源 913×663×1,790 394 配重塊 280×130×130 23 Gatan控制器*1*3 576×648×1,173 150 冷卻水控制裝置 470×540×350 25 冷卻水循環(huán)裝置*1*3 970×970×1,064 95 干式泵*1 252×400×336 23 空壓機(jī)*1 275×560×576 25 安裝條件
項(xiàng)目 內(nèi)容 室溫 15～23℃（溫度變化：0.2℃/h以內(nèi)） 濕度 40～60% RH 電源 機(jī)體 單相AC200～240 V ±10%、50/60 Hz、10 kVA
斷路器容量 50 A冷卻水循環(huán)裝置*1*3 三相AC200 V ±5%、50/60 Hz、30 A 接地 D種接地（100 Ω以下） 冷卻水 水量 5.1～5.3 L/min 1系統(tǒng)、2.0～2.2 L/min 1系統(tǒng)
（水壓0.25 MPa）水溫 16～18℃（變動(dòng)：±0.1℃以內(nèi)） 氣體 SF6 99.9%以上、180 k～200 kPa 干氮 99.9%以上、0～100 kPa 壓縮空氣 600 k～800 kPa 布局示例
滬公網(wǎng)安備 31011502008050號(hào)