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    產(chǎn)品中心

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    奧林巴斯半導體檢測顯微鏡MX61L / MX61

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    產(chǎn)品特點

    半導體檢測顯微鏡MX61L/ MX61, 300 mm/200 mm半導體檢查顯微鏡通過各種觀察方法--明視場法、暗視場法、微分干涉法(DIC)、熒光法、紅外線法和深紫外線法,優(yōu)秀的光學系統(tǒng)保證了卓越的圖像分辨率和鮮明度。向您推薦的Z好的半導體檢測顯微鏡。

    詳細介紹

    產(chǎn)品介紹:

    半導體檢測顯微鏡MX61L/ MX61, 300 mm/200 mm半導體檢查顯微鏡通過各種觀察方法--明視場法、暗視場法、微分干涉法(DIC)、熒光法、紅外線法和深紫外線法,優(yōu)秀的光學系統(tǒng)保證了卓 越的圖像分辨率和鮮明度。向您推薦的最 好的半導體檢測顯微鏡。


    2.jpg


    在對比度的決定上起重要作用的孔徑光闌(AS)的開閉調(diào)節(jié),與物鏡的切換和觀察模式連動,用一個按鈕就可以操作。此外,用一個手指就可以調(diào)光的旋鈕也配置在前面板上,從而提高了檢查速度。物鏡和孔徑光闌(AS)的按鈕分別斜向配置,手不離開對焦手柄,只要輕動大拇指就可以操作。這個按鈕的傾斜式設(shè)計提高了手指尖的感知度,能夠防止錯誤操作。


    前面板
    [1] 照明強度旋鈕
    [2] 物鏡倍率切換
    [3] 孔徑光闌調(diào)節(jié)


    觀察姿勢迅速到位的傾斜鏡筒


    4.jpg

    傾斜鏡筒示意圖


    為了適應(yīng)視點而調(diào)整座椅的高度,或是以不合理的姿勢進行檢查的話會浪費時間,降低工作速度。但是,配備傾斜角度為0°~42°(可變高度為150 mm,SEMI S8對應(yīng))的傾斜鏡筒,可采取與檢查者體格無關(guān)的舒適觀察姿勢,甚至可以站立檢查。此外,這一款鏡筒拉長了從觀察中心軸到觀察者視點的距離,可以在較大的平臺上輕松操作。


    高靈敏度載物臺可以迅速決定位置

    對應(yīng)300 mm晶圓/17英寸面板的MX-SIC1412R2載物臺有較大的透射照明范圍(Y方向284 mm)。另外,內(nèi)置離合器的載物臺手柄,可切換粗調(diào)和微調(diào)。在顯微鏡觀察的同時能自由地移動載物臺,快速完成檢查。


    5.jpg

    內(nèi)置離合器的載物臺手柄



    瑞科中儀向您推薦的奧林巴斯顯微鏡具有鮮明圖像和卓 越的分辨率為特點的光學系統(tǒng)多種選擇,可實現(xiàn)卓 越的成像性能 。
    物鏡是觀察樣品的照明和觀察的重要部件,奧林巴斯有應(yīng)對多種多樣的觀察方法、長工作距離、紅外光及LCD檢查用的齊全的物鏡產(chǎn)品陣容可供選擇。


    豐富的產(chǎn)品陣容,可按需選擇
    MPLAPON
    平場復(fù)消色差透鏡
    MPLFLN
    平場半復(fù)消色差透鏡
    MPLFLN-BD
    明暗視場用平場半復(fù)消色差透鏡
    MPLFLN-BDP
    反射偏振光用平場半復(fù)消色差透鏡
    LMPLFLN
    長工作距離平場半復(fù)消色差透鏡
    LMPLFLN-BD
    明暗視場用長工作距離平場半復(fù)消色差透鏡
    MPLN
    平場消色差透鏡
    MPLN-BD
    明暗視場用平場消色差透鏡
    SLMPLN
    超長工作距離平場消色差透鏡
    LCPLFLN-LCD
    液晶長工作距離平場半復(fù)消色差透鏡


    半導體/FPD檢查顯微鏡 規(guī)格
    MX61L
    MX61

    光學系統(tǒng)
    UIS2光學系統(tǒng)(無限遠校正)
    機身
    觀察方法
    明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光/熒光
    反射/透射
    反射/透射
    照明裝置
    機身一體型(明視場,暗視場+1選件)
    照明系統(tǒng)
    反射照明
    100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙
    透射照明
    纖維光導
    對焦單元
    電動/手動
    手動
    行程
    32 mm
    分辨率/微調(diào)靈敏度
    微調(diào)旋鈕轉(zhuǎn)動1周移動0.1 mm
    最 大樣本高度
    30 mm
    物鏡轉(zhuǎn)換器
    電動型
    明視場微分干涉6孔
    明暗視場微分干涉5孔
    明暗視場微分干涉6孔
    明暗視場微分干涉中心輸出5孔
    手動式
    -
    載物臺
    行程
    14×12英寸右下手柄:
    356(X)×305(Y)mm
    (透射照明范圍356×284 mm)
    8×8 英寸右下手柄:
    210(X)×210(Y)mm
    (透射照明范圍189×189 mm)
    6×6 英寸右下手柄:
    158(X)×158(Y)mm
    觀察筒
    廣角視場
    (視場數(shù)22)
    倒置
    雙目/三目觀察筒
    正像
    三目觀察筒
    超寬視場
    (視場數(shù)26.5)
    倒置
    三目觀察筒
    正像
    傾斜三目觀察筒
    附件單元
    DUV單元/IR單元/電動載物臺/自動裝載
    外形尺寸
    710(W)×843(D)×507(H)mm
    (標準組合)
    509(W)×843(D)×507(H)mm
    (標準組合)
    重量
    51 kg(標準組合)
    40 kg(標準組合)


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