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SemiChem 單槽壁掛式在線濃度監(jiān)測儀

品牌：日本HM&M
型號： SemiChem A200
產(chǎn)地：美洲美國
供應(yīng)商報價：面議

上海奧法美嘉生物科技有限公司更新時間：2025-05-22 17:29:56

銷售范圍售全國

入駐年限第10年

營業(yè)執(zhí)照已審核

同類產(chǎn)品Entegris 濃度監(jiān)測儀(3件)

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產(chǎn)品特點(diǎn)

? 增加工具產(chǎn)量

? 降低化學(xué)品成本

? 實(shí)時過程監(jiān)控

? 降低批量損失

? 降低所有者成本

詳細(xì)介紹

SemiChem 單槽壁掛式在線濃度監(jiān)測儀

SemiChem 單槽壁掛式在線濃度監(jiān)測儀為工程師提供了準(zhǔn)確性、可靠性和靈活性的過程監(jiān)控，可以提高效率、保證晶圓制造的一致性，以滿足更高的良率和容錯的要求。在競爭激烈的微電子工業(yè)中，如果不使用復(fù)雜的監(jiān)測和控制來確保晶圓制造的一致性，晶圓的制造成本將大大提高。

我們的SemiChem 單槽壁掛式在線濃度監(jiān)測儀允許定量化學(xué)濃度。全在線化學(xué)監(jiān)測能夠?qū)崟r校正溶液成分，從而穩(wěn)定控制工藝條件、保持產(chǎn)品的一致性。

監(jiān)控工藝過程中溶液的組分信息能夠增加產(chǎn)品的產(chǎn)量?？赡苡绊懏a(chǎn)品質(zhì)量的變化在檢測時會立即顯現(xiàn)出來，并在產(chǎn)品質(zhì)量受損之前迅速糾正。

產(chǎn)品選項(xiàng)

? 多個樣本點(diǎn)

? 額外的5 mL數(shù)字滴定管

? 附加傳感器

? 安全聯(lián)鎖裝置

? 試劑低液位檢測

優(yōu)勢

? 增加工具產(chǎn)量

? 降低化學(xué)品成本

? 實(shí)時過程監(jiān)控

? 降低批量損失

? 降低所有者成本

應(yīng)用

? 銅化學(xué)機(jī)械拋光

? 鎢化學(xué)機(jī)械拋光

? 濕法蝕刻

? 清潔

? DSP+

? 氮化物蝕刻

? PAN蝕刻

? 食人魚蝕刻

? HF

產(chǎn)品特點(diǎn)

? 4個4-20 mA 模擬輸出

? 8個可編程繼電器

? 以太網(wǎng)和 RS232 串口

? 彩色觸摸屏

? 集成試劑儲存

? 單采樣點(diǎn)

? 1個5mL數(shù)顯滴定管

? 多個傳感器輸入

?規(guī)格

分析方法	電位法/標(biāo)準(zhǔn)加入法/光度法
精確度1	±0.2%顯示值
誤差度1	0.2%相對誤差
測量時間	少于5分鐘/分析(取決于應(yīng)用)
校準(zhǔn)頻率	自開始起2
樣品消耗量	小于 5 mL/次
樣品量	0.05 至 5 mL（取決于應(yīng)用）
樣品溫度	低于93℃(200℉)
耗水量	少于1000mL/次
樣品入口/返回	小于30 psi
	0.5升/分鐘
	1/4”外徑擴(kuò)口接頭
	1”FPT 密封聯(lián)軸器
去離子水	20-40 psi
	2升/分鐘
	1/4”外徑擴(kuò)口接頭
CDA	60-80 psi
	1/4”外徑快速接頭
過程排放	3/4”NPT 重力排放
機(jī)箱排水	1/2”NPT 重力排放
電源	110 /220 VAC，50 /60 Hz，1/0.5 A 現(xiàn)場可切換
排水	1 7 /8” OD @ 17 CFM
外形尺寸	39.00”H x 27.00”W x 16.00”D

1僅指“硬件”。應(yīng)用、化學(xué)和工藝條件等外部因素會影響系統(tǒng)準(zhǔn)確度和精密度。

2這不包括 pH 傳感器的校準(zhǔn)。有關(guān)詳細(xì)信息，請參閱安裝和操作手冊。Entegris 相信此處包含的數(shù)據(jù)是真實(shí)的，所表達(dá)的意見是合格專家對所進(jìn)行測試的結(jié)果的看法，這些數(shù)據(jù)不應(yīng)被視為 Entegris 承擔(dān)法律責(zé)任的保證或陳述。提供的數(shù)據(jù)僅供考慮、調(diào)查和驗(yàn)證。對這些數(shù)據(jù)和信息的任何使用都必須由用戶決定，以符合聯(lián)邦、州和當(dāng)?shù)氐姆煞ㄒ?guī)。所有規(guī)格如有更改，恕不另行通知。

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