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    深紫外單縱模固體激光器Ixion193

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    產(chǎn)品特點(diǎn)

    Ixion193為全固化單頻激光器,其線寬達(dá)到變換極限,可用于光學(xué)計(jì)量、193nm 步進(jìn)光學(xué)系統(tǒng)校準(zhǔn)、高功率準(zhǔn)分子激光器種子等。

    詳細(xì)介紹

    深紫外單縱模固體激光器Ixion193
    IXION 193 為全固化單頻激光器,其線寬達(dá)到變換極限,可用于光學(xué)計(jì)量、193nm 步進(jìn)光學(xué)系統(tǒng)校準(zhǔn)、高功率準(zhǔn)分子激光器種子等。
    典型應(yīng)用:
    ? 光譜儀校準(zhǔn);
    ? 光刻;
    ? 干涉儀;
    ? 193nm 計(jì)量測(cè)量
    ? 準(zhǔn)分子激光器種子源

    深紫外單縱模固體激光器Ixion193典型參數(shù)
    型 號(hào) IXION-193 SLM
    波 長 193.368 nm
    平均功率 10 mW
    脈 寬 8-12 ns
    脈沖能量 1.6μJ
    重復(fù)頻率 1-15 kHz
    M2 因子 < 1.6
    線 寬 <80MHz/0.01pm/0.0027cm-1
    調(diào)諧范圍 >80GHz/10pm/2.6cm-1
    相干長度 >2m
    脈沖寬度

    光譜帶寬

    長時(shí)間功率穩(wěn)定性

    光束質(zhì)量

    技術(shù)資料

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