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    蘇州普樂斯大型真空等離子清洗設備

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    產品特點

    觸摸屏操作界面
    數(shù)字及圖標多重工藝參數(shù)實時顯示
    三色燈異常報警功能
    自動/手動操咋作模式切換
    可存儲多套工藝配方
    遠程操控,數(shù)據(jù)導出(可選)
    特殊電極、氣路設計,均勻性好
    平板式、滾輪式載具平臺(可選)
    適用半導體封裝引線框架的批量處理

    詳細介紹

    型號

    VPC-500F4

    控制系統(tǒng)

    控制方式

    全自動控制(自動/手動切換)

    PLC(標配)/PC(可選)

    操作系統(tǒng)

    Windows 10

    觸摸屏

    7寸

    整機規(guī)格

    尺寸

    W1150×D1400×H1720mm

    腔體

    尺寸

     W500×D486×H520mm

    材質

    鋁合金(標配)/不銹鋼(可選)

    電極

    結構尺寸

    組合柜式, W398×D394×H425mm

    分隔數(shù)量

    4個料盒

    托架

    材質

    鋁合金(標配)/不銹鋼(可選)

    形狀

    平板式/滾輪式(可選)

    真空計

    皮拉尼式真空計

    1個

    流量計

    MFC質量流量控制器

    2個;Ar、N2、H2(可選)

    真空泵

    機械油式旋片泵

    1套

    發(fā)生器

    中頻/射頻

    40KHz,0~1000W

    13.56MHz,0~500W

    額定功率

    整機峰值功率

    5KW

    機臺供電

    三相五線式

    AC-380V

    選購品

    干式泵、雙級旋片真空泵+羅茨泵(泵組)、托架、溫度傳感器、H2安全閥、慢速泄氣閥、慢速抽氣閥、鋼瓶減壓閥、非標法蘭、陶瓷緊固件

     


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