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    IXY 系列雙軸高精密運(yùn)動平臺

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    產(chǎn)品特點(diǎn)

    IXY100: 行程100X100 光柵尺類型-P: Invar Based Scale 編碼器輸出AA: Sin/Cos 電纜輸出-CMS: With CMS Box

    詳細(xì)介紹


    總覽

    ZY的高精密運(yùn)動臺設(shè)計(jì): IXY系列高精密運(yùn)動平臺優(yōu)化了高剛性和高動態(tài)性能設(shè)計(jì),滿足ZG動態(tài)性能要求的各種應(yīng)用,是適用于光學(xué)、生化、電子制造等領(lǐng)域的理想的雙軸高精密運(yùn)動系統(tǒng)。

    ZY的精度和穩(wěn)定的性能: IXY系列運(yùn)動平臺具有高精度和高運(yùn)動性能等特點(diǎn)。瑞熒公司基于高精度機(jī)械和運(yùn)動控制相結(jié)合的先進(jìn)整體系統(tǒng)設(shè)計(jì),生產(chǎn)出高精度和高性能的單軸、雙軸、多軸高精密運(yùn)動平臺。


    通用參數(shù)

    產(chǎn)品特點(diǎn)

    結(jié)構(gòu)精巧的雙軸高精密運(yùn)動平臺

    雙電機(jī)可實(shí)現(xiàn)高產(chǎn)量

    高剛性,良好的兼容性

    導(dǎo)向精度高,JZ定位


    產(chǎn)品應(yīng)用

    二維激光加工

    激光直寫

    光學(xué)測量

    自動顯微鏡


    技術(shù)參數(shù)


    IXY100

    IXY200

    行程

    100mm

    200mm

    精度

    -P: 1.0μm

    -C: 1.5μm

    -P: 1.5μm

    -C: 2.0μm

    重復(fù)定位精度(3σ)

    -P: 0.3μm

    -C: 0.6μm

    -P: 0.5μm

    -C: 0.8μm

    運(yùn)動分辨率 *1

    AA: 10nm

    DS: 200nm

    AA: 10nm

    DS: 200nm

    ZD速度 *2

    200mm/s

    300mm/s

    ZD加速度 *2

    0.5g

    0.5g

    水平方向直線度

    1.5μm

    3μm

    垂直方向直線度

    2μm

    4μm

    偏航角

    15μrad

    30μrad

    俯仰角

    50μrad

    100μrad

    裝載質(zhì)量 *3

    10kg

    20kg

    *1 針對不同的控制器、驅(qū)動器、環(huán)境振動和結(jié)構(gòu)的系統(tǒng)設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)不同的運(yùn)動分辨率,歡迎垂詢。

    *2 針對不同承載重量、控制器、驅(qū)動器的系統(tǒng)設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)不同的速度和加速度,歡迎垂詢。

    *3 歡迎與瑞熒公司工程師團(tuán)隊(duì)交流具體裝載質(zhì)量等參數(shù)要求,優(yōu)化高精密運(yùn)動平臺設(shè)計(jì)。

    訂購信息

    型號示例:

    IXY100/IXY200 – PAA – CMS


    型號說明:

    系列

    行程

    光柵尺類型

    編碼器輸出

    電纜輸出

    IXY

    100: 100X100

    -P: Invar Based Scale

    AA: Sin/Cos

    -CMS: With CMS Box


    200: 200X200

    -C: Gold Tape Scale

    DS: 100nm A/B/Z

    -C01: 1m Cable




    DC: Customize

    -C03: 3m Cable

    控制系統(tǒng):

    1、根據(jù)精密運(yùn)動平臺參數(shù)和應(yīng)用要求,提供不同的控制系統(tǒng)方案。

    2、精密運(yùn)動臺端口和電機(jī)參數(shù)兼容常見運(yùn)動控制卡及驅(qū)動器。


    尺寸圖


    系列

    S

    A

    H

    M

    IXY100

    100

    255

    102

    150

    IXY200

    200

    365

    102

    200

    單位


    (unit in mm)


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