全自動(dòng)雙面紫外皮秒激光晶圓劃線機(jī)

全自動(dòng)雙面紫外皮秒激光晶圓劃線機(jī)

設(shè)備簡(jiǎn)介：晶圓劃線設(shè)備是晶元制程中不可缺少的一道工序，取代原有的工序（勻膠、曝光、顯影）。

設(shè)備亮點(diǎn)：

可兼容4寸、 5寸、6寸等多種不同規(guī)格產(chǎn)品加工
雙工位同時(shí)加工，效率提升3倍
采用雙皮秒激光器兼容產(chǎn)品正反面及多面同時(shí)加工，有效保證加工效果
配套晶圓機(jī)械手自動(dòng)上下料，有效減少人工成本
配套高精度視覺定位及檢測(cè)，有效保證加工精度和檢測(cè)結(jié)果
自動(dòng)分揀及回收NG產(chǎn)品，根本解決人工分揀低效的問題