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    SS-60系列掃描電子顯微鏡

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    產(chǎn)品特點

    SS-60系列臺式掃描電鏡具有體型小巧,占用空間??;
    放大倍率30 ~60,000 X,15nm分辨率;
    采用二次電子和背散電子雙重探測器;
    SS-60掃描電鏡具有強大軟件功能,操作簡單,易于維護;
    國產(chǎn)掃描電鏡,良好售后服務系統(tǒng)。

    詳細介紹

    產(chǎn)品說明:

     

    (1)放大倍率6萬倍(Magnification Max 60,000 X);

    (2)采用二次電子和背散射電子雙重探測器(Signal Detection: SE Detector+BSE Detector);

    (3)5kV~30kV加速電壓選擇,圖像分辨率高(Accelerating Voltage:1kV to 30kV,High image resolution);

    (4)通過選配EDS可進行元素成份分析(EDS is optional, for component analysis);

    (5)Tilt(0~90)載物臺配置(可選擇)(Tilt Stage configuration( optional))。

     

     

    產(chǎn)品特性:

    (1)臺式掃描電子顯微鏡,體型小巧,占用空間?。?/p>

    (2)強大的軟件功能,單窗口操作界面,讓用戶操作方便簡單;

    (3)軟件實現(xiàn)檢測圖形實時存儲;

    (4)掃描電子顯微鏡產(chǎn)品結構設計簡潔,易于維護及保養(yǎng);

    (5)自動平臺采用中心定位模式,迅速定位待測樣品。

     

     技術參數(shù):

     

    分辨率 

    15nm (30kV, SE Image)

    20nm (30kV, BSE Image)

    放大倍率

    30~60,000 X

    加速電壓

    5kV to 30kV (5kV/10 kV /15kV/20kV/30 kV -5step)

    圖像檢測

    二次電子圖像-(SE)-Secondary Electron Image

    背散射電子圖像(BSE)-Backscattered Electron Image

    * Multi Detector (SE+BSE)

    觀察模式

    Standard Mode

    Charge-up reduction mode

    電子槍系統(tǒng)

    燈絲類型

    預對中鎢燈絲

    偏壓系統(tǒng)

    自動偏壓方式

    電子槍校正

    手動方式

    透鏡構成

    聚光鏡

    2段式磁線圈透鏡

    物鏡

    1段式磁線圈透鏡

    探測器類型

    SE Detector/ BSE Detector

    載物臺系統(tǒng)

     自動或者手動

    載物臺移動

    3軸(X,Y,R)或5軸(X,Y,R,Z,T)

    圖像偏移

    Image shift X, Y Image Shift (±150μm)

    樣品尺寸

    高度40mm時直徑70mm

    圖像掃描

    快速掃描: 320x240 (Scan time: 0.1 sec.)

    低速掃描 : 640x480 (Scan time: 3 sec.)

    圖片模式1: 1280x960 (Scan time: 30sec.)

    圖片模式2: 2560x1920 (Scan time: 60sec.)

    圖片模式3: 5120x3840 (Scan time: 120sec.)

    自動功能

    自動啟動,自動聚焦,自動亮度對比度調(diào)節(jié)

    圖像存儲格式

    BMP, JPEG, PNG,TIFF

    數(shù)據(jù)顯示

    放大倍率,探測器類型,電壓,真空模式,Logo(Text),Date and time,Text marker,比例尺等

    真空系統(tǒng)

     高真空模式

    (旋轉(zhuǎn)式機械泵)Rotary Pump/100Liters/min

    (渦輪式分子泵)Turbo Molecular Pump/ 70Liters/sec

     抽真空時間:3分鐘以內(nèi)

    操控系統(tǒng)

     鼠標和鍵盤

    PC:臺式電腦(Desk Top)      

    軟件

     圖像文件打開,編輯,存儲功能長度,面積,角度等測量功能,設置數(shù)初始化,圖像拍攝模式轉(zhuǎn)換,Archives, Setting(EDS)模式等

    體積

    設備主機-410(W)×660(D)×600(H)mm
    外置真空泵-400(W)×160(D)×340(H)mm 

    重量

     95kg

    設備環(huán)境 

     溫度:15℃~30℃
       濕度:70% or less

      電源:Single phase 100~240V AC, 1kW, 50/60Hz



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