PROMETHEUS 流化床原子層沉積系統(tǒng)

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PROMETHEUS 流化床原子層沉積系統(tǒng)

粉末包覆可有效提升材料性能與使用壽命，如鋰電正極或負(fù)極材料，經(jīng)過(guò)表面包覆處理后在放電性能及循環(huán)使用壽命方面都有明顯提升，但目前工業(yè)的包覆手段以機(jī)械混合的干法為主，該方法包覆均勻性較差，性能提升有限。ALD 技術(shù)可實(shí)現(xiàn)高精度及均勻包覆，是理想的包覆手段。Forge Nano 針對(duì)粉末類材料比表面積大的特點(diǎn)，采用流化床技術(shù)實(shí)現(xiàn)粉末材料的流化，從而保證前驅(qū)體與粉末實(shí)現(xiàn)充分的接觸。P 系列是 Forge Nano 針對(duì)工業(yè)包覆研發(fā)的粉末 ALD 負(fù)載系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn) kg 級(jí)粉末批量包覆，是工業(yè)生產(chǎn)前最理想的研發(fā)工具。

產(chǎn)品規(guī)格

1. 前驅(qū)體通道：2-8 

2. 腔室容量：0-600ml

3. 反應(yīng)器溫度：450℃

4. zui高工藝溫度：200℃

5. 振動(dòng)流化床反應(yīng)器

6. 模塊：流化輔助，質(zhì)譜，臭氧發(fā)生器，等離子體發(fā)生器

產(chǎn)品特點(diǎn)

P 系列是 Forge Nano 專為粉末 ALD 開(kāi)發(fā)的研發(fā)級(jí)工具，可輕松實(shí)現(xiàn) kg 的粉末包覆。使用流化床技術(shù)可保證粉末在反應(yīng)器中的分散，有利于前驅(qū)體擴(kuò)散。

流化輔助

粉末在長(zhǎng)時(shí)間存放或流化不充分時(shí)容易出現(xiàn)團(tuán)聚，導(dǎo)致無(wú)法形成理想的流化態(tài)。因此利用流化輔助模塊，高剪切氣流以及振動(dòng)反應(yīng)器的設(shè)計(jì)可沖散團(tuán)聚顆粒，確保分散效果。

分區(qū)加熱

所有前驅(qū)體源均可獨(dú)立加熱，保證最佳運(yùn)輸條件，這對(duì)于部分低蒸汽壓的前驅(qū)體以及敏感的基底材料非常重要。P 系列也擁有獨(dú)特的閥門控制系統(tǒng)，可以實(shí)現(xiàn)多通道前驅(qū)體輸運(yùn)。

在線監(jiān)測(cè)

P 系列配置了氣體在線分析系統(tǒng)，對(duì) ALD 工藝的改善有較大幫助，使用者可通過(guò)氣體成分判斷反應(yīng)的完成度。

應(yīng)用

鋰電池：鋰電正極或負(fù)極材料的包覆可有效提升其放電性能及使用壽命。常見(jiàn)的 NCM 與磷酸鐵鋰，在表面包覆 Al2O3 等氧化物薄膜后，在經(jīng)過(guò)多次放電后，仍可保持較高的能量密度。

3D 打印：3D 打印粉末存在腐蝕及表面氧化的問(wèn)題，會(huì)影響器件的性能。通過(guò)表面涂層改性，可有效延緩氧化及腐蝕。傳統(tǒng)的包覆方式是在器件表面進(jìn)行 ALD 沉積，但對(duì)于 3D 打印粉末，直接對(duì)原材料粉末改性無(wú)疑是更有效的手段。

催化：催化反應(yīng)大多數(shù)是發(fā)生在材料表面的界面反應(yīng)，因此對(duì)于催化劑材料進(jìn)行表面構(gòu)筑改性是有效的性能提升手段。利用 ALD 可以直接在粉末，纖維材料表面生長(zhǎng)高活性納米涂層，另一種方法是利用模板法結(jié)合 ALD 在表面構(gòu)筑特定結(jié)構(gòu)，暴露活性位點(diǎn)。此外，也可以在特定的顆粒表面進(jìn)行表面包覆，防止催化劑燒結(jié)團(tuán)聚。