激光干涉儀測量方法

一.產(chǎn)品簡介

激光干涉儀是以光波為載體，以光波波長為單位的一種計量測試方法，是高精度、高靈敏度的檢測手段，在高端制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。

SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品采用高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高精度環(huán)境補償模塊、幾何參量干涉光路設(shè)計、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術(shù)，實現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測量。通過激光熱穩(wěn)頻控制技術(shù)，實現(xiàn)快速(5~10分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出，采用不同的光學(xué)鏡組與激光配合，得到不同的干涉信號，然后通過高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)得到干涉數(shù)據(jù)，將數(shù)據(jù)通過計算機進行顯示和動態(tài)分析。

二.功能特點

1. 測量精度高：以激光干涉技術(shù)為核心，分辨率可達納米級；采用高精度環(huán)境補償模塊，解決溫度、空氣壓力、相對濕度、材料溫度等環(huán)境因素對測量結(jié)果的影響；使用激光熱穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，保證激光長期穩(wěn)頻精度；干涉鏡與主機分離設(shè)計，避免干涉鏡受熱變形，保證干涉光路穩(wěn)定。

2. 具有實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢測功能?？梢詸z測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設(shè)備運動導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等；同時也能檢測運動導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度；并且可滿足回轉(zhuǎn)軸分度精度的測量。

3. 可根據(jù)用戶設(shè)定的補償方式自動生成誤差補償表，滿足機床誤差修正的要求。

4. 具有動態(tài)測量（位移-時間曲線、速度-時間曲線、加速度-時間曲線）及測量振幅和頻率分析的功能，可進行機床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態(tài)特性分析，驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析等。

5. 內(nèi)置各種類國標（GB）、ISO（國際）、BS（英制）、美標、DIN（德標）、JIS（日標）等機床檢驗標準?？梢罁?jù)各種機床標準分析處理數(shù)據(jù)，并根據(jù)測量結(jié)果可打印相應(yīng)的曲線圖和數(shù)據(jù)報告。

6. 可自動監(jiān)測環(huán)境溫度、材料溫度、環(huán)境濕度和大氣壓力的參數(shù)。可選擇手動或自動對波長進行環(huán)境補償。

7. 測量記錄采用集中式數(shù)據(jù)庫管理，可按被測件類型、生產(chǎn)單位、出廠編號、檢定員、送檢單位、設(shè)備編號、檢定日期和有效日期等查詢和管理檢定記錄；可將檢定數(shù)據(jù)輸出到Word、Excel、AutoCAD（選配）文檔。

8. 安裝方便：基本重量為15kg，簡單便攜。

三.激光干涉儀線性測量方法

（1）安裝設(shè)置激光干涉儀
　　（2）將激光束與被測量的軸校準
　?。?）啟動測量軟件，并輸入相關(guān)參數(shù)（如材料膨脹系數(shù)）。
　?。?）在機床上輸入測量程序，啟動干涉儀測量，并記錄數(shù)據(jù)。
　?。?）用測量軟件分析測量數(shù)據(jù)，生產(chǎn)補償文件。
　　光束快速準直步驟
　?。?）沿著運動軸將反射鏡與干涉鏡分開。
　?。?）移動機床工作臺，當光束離開光靶外圓時停止移動。
　　垂直光束調(diào)整
　?。?）使用激光頭后方的指形輪使兩道光束回到相同的高度。
　?。?）使用三腳架中心主軸上的高度調(diào)整輪使激光頭上下旋轉(zhuǎn)，直到兩道光束都擊中光靶中心。
　　水平光束調(diào)整
　?。?）用三腳架左后方的小旋鈕，調(diào)整激光頭的角度偏轉(zhuǎn)，使兩道光束彼此重疊。
　?。?）用三腳架左邊中間的大旋鈕，調(diào)整激光頭的水平位置，使兩道光束擊中光靶的中心。
　　（7）沿著運動軸重新開始移動機床工作臺。在看到光束移開光靶時再次停止。重復(fù)步驟3到6，直到完成整個軸向的光鏡準直。
　?。?）達到軸的末端時，將機床移回，使反光鏡及線性反射鏡互相靠近。注：若其中一道光束離開光閘的光靶，是由于反光鏡側(cè)向偏移所造成。上下左右移動反光鏡，使從反光鏡返回的光束與干涉鏡的光束在光閘的光靶上互相重疊。
　　重復(fù)步驟1到8，直到兩道光束在整個運動軸長度范圍內(nèi)都保持在光靶的中心。
　?。?）保持光束和測量軸準直。將光閘旋轉(zhuǎn)到其測量位置。當反光鏡沿著機床的整個運動長度移動時，檢查線性數(shù)據(jù)采集軟件中顯示的信號強度。