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    AZ 光刻膠

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    產(chǎn)品特點(diǎn)

    AZ 光刻膠,G線/I線/G線I線通用光刻膠系列

    詳細(xì)介紹

    AZ 系列光刻膠

    AZ 光刻膠(圖1)

    AZ 光刻膠(圖2)

    AZ 1500 系 列 光 刻 膠,為廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域而優(yōu)化的高感光度G線正型光刻膠

    參考工藝條件
    前烘 :100℃ 60秒 (DHP)
    曝光 :G線步進(jìn)式曝光機(jī)/接觸式曝光機(jī)
    顯影 :AZ300MIF (2.38%) 23℃ 60秒 Puddle
    清洗 :去離子水30秒
    后烘 :120℃ 120秒 (DHP)
    剝離 :AZ剝離液及/或氧等離子體灰化
    特 征
    1) 高感光度,高產(chǎn)出率
    2) 高附著性,特別為濕法刻蝕工藝改進(jìn)
    3) 廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)


    產(chǎn)品型號(hào)(PRODUCT RANGE)

    AZ 光刻膠(圖3)


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