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    M-SPIN 200 Spin Coater勻膠旋涂儀

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    產(chǎn)品特點

    M-Spin 200勻膠旋涂儀是用于均勻涂覆和干燥晶圓片或襯底。該勻膠旋涂儀適用于直徑ZD為8英寸的晶圓片,或為6英寸 x 6英寸的襯底。它可使用分配臂全自動工作,分配移動托盤,可定義數(shù)量。該勻膠旋涂儀配備了頂蓋的聯(lián)鎖機制,和可視化全圖形觸摸面板。M-Spin 200勻膠旋涂儀包含一個內(nèi)置模塊,該模塊連接到柔性電纜,外接到一個19英寸外部控件上。

    詳細介紹

    M-Spin 200勻膠旋涂儀是用于均勻涂覆和干燥晶圓片或襯底。該勻膠旋涂儀適用于直徑ZD為8英寸的晶圓片,或為6英寸 x 6英寸的襯底。它可使用分配臂全自動工作,分配移動托盤,可定義數(shù)量。該勻膠旋涂儀配備了頂蓋的聯(lián)鎖機制,和可視化全圖形觸摸面板。M-Spin 200勻膠旋涂儀包含一個內(nèi)置模塊,該模塊連接到柔性電纜,外接到一個19英寸外部控件上。


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