國儀量子掃描電子顯微鏡SEM3000S

一、掃描電子顯微鏡SEM3000S產(chǎn)品概述：

掃描電子顯微鏡SEM3000S 是一款使用鎢燈絲的高性能掃描電子顯微鏡?？捎糜谟^察納米級的微觀結(jié)構(gòu)，放大倍數(shù)可達(dá)到 300000 倍。此型產(chǎn)品具有快速更換燈絲的優(yōu)點(diǎn)?；趦?yōu)秀的電子光路設(shè)計及新型聚焦系統(tǒng)，其分辨率輕松優(yōu)于 3 nm。在 100 mm 全自動五軸樣品臺的配合下，是您科研及新材料研發(fā)的得力助手。

二、掃描電子顯微鏡SEM3000S產(chǎn)品參數(shù)：

掃描模式

行掃：2 ms - 80 ms

幀掃：0.4 s - 160 s

快掃模式：512x512像素（可選256x256像素）

觀察模式：1024x1024像素（三檔速度）

拍照模式：4096x4096像素（三檔速度, 可選1024x1024）

樣品臺

X、Y、Z、R、T 五軸電動樣品臺

X：120 mm；

Y：115 mm；

Z：65 mm；

R：360°；

T：0° 到+90°

真空系統(tǒng)

主泵：渦輪分子泵

前級泵：旋片式機(jī)械泵

系統(tǒng)極限真空度：

5 x 10^-4Pa（渦輪分子泵）

安裝要求

電源：AC220 V；50 Hz;2KVA

地線：獨(dú)立地線一條，小于10Ω

溫度：15 ℃-30 ℃

濕度：≤70%

地面震動：≤5 μm/sec

交流磁場：≤0.3 μT

門寬：≥900 mm

探測器

二次電子、背散射電子（選配）、X能譜儀（選配）

外形尺寸和重量

主機(jī)  ：700（W）x750

D）x1600（H）；160 kg

三、掃描電子顯微鏡SEM3000S應(yīng)用案例：