德國布魯克 濺射模塊SP-010

產(chǎn)品介紹：

盡管用于CCU-010 LV和CCU-010 HV緊湊式鍍膜機的SP-010濺射頭的形狀小巧，它仍然具備在真空中進行高質(zhì)量濺射鍍膜所需的特性。
       此模塊把磁控管、靶材、擋板、工藝壓力調(diào)節(jié)器和電源器件完全整合到一個裝置中，裝置準備就緒，可以運行，并且便于維護。
       通過接口供電、供氣和傳送信號，一項手動操作，就可以把系統(tǒng)設置成濺射裝置。

亮點：
·  以電子方式控制工藝真空度，容器內(nèi)壓力穩(wěn)定。
·  設有環(huán)形氣孔，工作氣體分布均勻。
·  對碎片進行探測和監(jiān)控，操作。
·  具備靶材冷卻功能，帶有溫度監(jiān)測，運行順暢。
·  采用統(tǒng)一的電氣和氣體接口，與CCU-010 HV和CCU-010 LV主體機配套使用。